产品介绍MALEMA马莱玛-流量计-重复性好
MALEMA马莱玛-流量计-重复性好
MALEMA(马莱玛)流量计以优异测量重复性为核心优势,是半导体、光伏、生物医药、精细化工等高纯流体工艺的优选流量测控设备,专门面向药液配比、湿法清洗、CMP 抛光等对批次一致性要求严苛的生产场景。
产品采用无活动部件直流通路结构,从根源规避叶轮类流量计因磨损、卡滞带来的测量漂移问题。依托自研 DSP 数字信号处理技术,搭配成熟传感算法,仪表多次测量同量时输出高度一致,典型重复性可达 ±0.5% 读数,多次启停、工况小幅波动下,测量结果离散度低,保障每一批次药液输送量稳定统一PSG。即使流体中含有气泡、少量浆料颗粒,依然可以维持稳定的重复测量性能,降低气泡扰动带来的数据波动。
接液材质选用高纯 PFA/PTFE 氟塑料,耐强酸强碱、强氧化剂与各类有机溶剂,无金属析出、无微粒脱落,不污染高纯药液,满足超洁净制程规范。流道无死区,压力损失小,适配超纯水、蚀刻液、清洗药液、抛光浆料等多种介质。
出厂阶段逐立标定,严格校验重复性指标,保证同型号仪表性能一致性。仪表结构紧凑,在线安装便捷,支持 4-20mA、脉冲、Modbus 等信号输出,可快速对接 PLC 与上位系统,持续稳定上传流量数据,支撑产线闭环管控。
稳定的重复性直接缩小工艺批次差异,减少因流量波动造成的良率异常,降低化学品损耗。同时无运动件设计大幅减少维护频次,避免频繁校准带来的停机,助力产线长期稳定量产。在对工艺一致性有要求的精密制造领域,MALEMA 马莱玛流量计凭借出众的重复测量能力,为稳定的流体配比与输送提供可靠数据支撑。
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