【简介】MALEMA马莱玛-流量计-高纯材质
接液采用高纯 PFA 材质，无离子、微粒析出，直通流道无死区，不污染药液，无活动部件，适配半导体超纯水与高纯化学品，保障洁净制程稳定监测。

MALEMA马莱玛-流量计-高纯材质

MALEMA马莱玛-流量计-高纯材质

MALEMA 马莱玛流量计以高纯材质为核心亮点，专门面向半导体湿法工艺、光伏、生物医药、超高纯化学品输送等高洁净要求场景，是高纯流体管路里的核心流量测控仪表。

仪表接液部位采用一体成型高纯 PFA 材质，部分型号可选 PTFE，材料纯度等级高，化学稳定性优异，严格控制金属离子、有机物与微粒析出，不会污染超纯水、蚀刻液、清洗药液、CMP 抛光浆料等超高纯介质，从源头规避交叉污染，满足晶圆制造等严苛洁净制程标准PSG。流道采用直通无死区结构，无滞留凹槽、无凸起阻挡，药液不易残留结晶，清洗置换效果好，更换药剂时残留少，适配多药液交替输送的工艺回路PSG。

产品采用无活动部件设计，流道内部不存在叶轮、转轴等易磨损零件，没有摩擦产生碎屑的风险，兼顾洁净与长期稳定运行。高纯 PFA 本身兼具良好耐腐蚀性，可耐受强酸强碱、强氧化剂以及各类有机溶剂，一套材质方案同时解决洁净与防腐两大痛点，无需额外内衬、镀层等容易脱落污染的处理方式PSG。

仪表出厂在洁净环境下完成组装与检测，配套高纯法兰、flare 接头等半导体标准洁净连接方式，安装便捷。支持 4-20mA、脉冲、数字通讯等多种信号输出，可直接接入 PLC 与上位控制系统，实现流量实时监测、累积计量与工艺联锁。

高纯材质特性保障药液品质稳定，减少因离子、颗粒污染造成的晶圆良率损失，降低批次报废风险。同时洁净流道维护简单，清洁周期更长，减少停机拆装清洗频次。在对流体洁净度有着门槛的精密制造行业，MALEMA 马莱玛流量计依靠可靠的高纯材质方案，为超高纯流体输送、精密配比、定量供给提供洁净、稳定、可信的流量监测保障。