产品介绍MALEMA马莱玛-流量计-无活动件
MALEMA马莱玛-流量计-无活动件
MALEMA 马莱玛流量计核心亮点为无活动件结构设计,区别于叶轮、涡轮等传统流量计,流道内部不存在叶轮、转轴等运动零件,也无机械密封结构,是半导体湿法制程、CMP 抛光、光伏、精细化工等高纯腐蚀流体工况的优选流量测控仪表。
传统带活动件流量计长期运行易出现磨损、卡滞、碎屑脱落等问题,磨损产生的微粒会污染高纯药液,同时转轴卡涩会直接造成测量漂移、计量失准。马莱玛依托超声波时差式测量原理,压电传感元件不参与流体摩擦运动,从根源消除机械磨损隐患,不会产生颗粒污染介质,契合晶圆制造超高洁净工艺要求。直通式流道结构,无内部阻挡,压力损失小,浆料、含微量气泡药液也可顺畅通过,堵塞风险大幅降低。
接液材质采用高纯 PFA,耐强酸强碱、强氧化剂腐蚀,化学稳定性好。仪表结构简洁,无需要定期更换的易损件,大幅减少日常维护工作量,无需频繁拆机检修、更换轴承密封件,显著降低产线停机概率。仪表内置 DSP 数字信号处理算法,抗气泡干扰能力强,保证流量信号稳定,测量精度与重复性长期稳定,不会随着运行时长出现性能衰减。
产品支持 4-20mA、脉冲、Modbus 等多种信号输出,安装紧凑便捷,可直接接入 PLC 与上位控制系统,实现流量实时监测、累积计量与工艺联锁控制。
无活动件设计带来高可靠、低维护、无二次污染的综合优势,有效降低备件成本与化学品泄漏风险,保障药液配比、输送工艺长期稳定,减少因仪表故障引发的良率损失。在连续化、高稳定性要求的精密流体产线中,MALEMA 马莱玛流量计凭借无活动件的可靠架构,为严苛高纯流体工艺提供长效稳定的流量监测方案
相关产品相关文章
Copyright © 2026 中发能源(北京)有限公司 版权所有 备案号:京ICP备2026057587号-2
技术支持:化工仪器网 管理登录 sitemap.xml