【简介】MALEMA马莱玛-流量计-无死区
无凹陷滞留腔，药液不易沉积结晶，换液冲洗，搭配高纯 PFA 材质，杜绝二次污染，适配半导体高纯药液循环配比。

MALEMA马莱玛-流量计-无死区

MALEMA马莱玛-流量计-无死区

MALEMA 马莱玛流量计主打无死区直通流道设计，是半导体湿法清洗、蚀刻、CMP 抛光、光伏及高纯化学品输送场景的优选流量测控仪表，适配药液频繁切换、洁净管控严苛的流体工艺。

常规流量计内部凹槽、拐角、节流结构容易形成滞留死区，药液长期滞留会结晶、析出颗粒，更换药剂时残留难以冲洗干净，造成不同药液交叉污染，直接影响晶圆良率。马莱玛采用一体化直通 PFA 流道，内部无凹陷、无阻挡、无滞留腔，从结构上消除死腿与死角，药液流通顺畅，置换清洗效率高，换液后残留量极低，有效避免药液交叉污染。

流道内壁光滑平顺，不易挂壁积渣，对于含颗粒抛光浆料也能降低沉积堵塞风险，减少管路结晶带来的工艺隐患。同时搭配高纯 PFA 接液材质，耐强酸强碱、强氧化剂腐蚀，无离子与微粒析出，兼顾无死区洁净特性与优异防腐能力。仪表采用时差式超声测量原理，流道内无活动零件，不存在摩擦碎屑，压力损失小，不会干扰管路流体状态。

仪表搭载 DSP 数字信号处理模块，具备良好抗气泡能力，测量精度与重复性稳定。支持 4-20mA、脉冲、Modbus 等多种信号输出，结构紧凑，适配洁净柜狭小空间，可直接接入 PLC 与上位系统，实现流量实时监测、累积计量与工艺联锁管控。

无死区设计大幅降低清洗频次，缩短药液置换时间，减少化学品浪费，规避因药液残留引发的批次不稳定、良率下滑等问题。在多药液分配、循环供给等高纯湿制程中，MALEMA 马莱玛流量计依靠无死区洁净流道，持续保障流体纯度与工艺一致性，为精密制造高纯流体系统提供可靠的流量监测方案。