【简介】MALEMA马莱玛-流量计-抗气泡
可耐受药液内含气泡工况，测量稳定不跳变，无活动件、直通无死区，高纯 PFA 材质，适配半导体湿法、CMP 浆料监测。

MALEMA马莱玛-流量计-抗气泡

MALEMA马莱玛-流量计-抗气泡

MALEMA 马莱玛流量计突出优异的抗气泡性能，针对半导体湿法、CMP 抛光、高纯化工药液输送中流体易夹带气泡的痛点开发，解决气泡造成流量跳变、计量失真的难题，是高纯腐蚀流体工况理想的流量监测设备。

在湿法产线中，药液加注、管路泄压、温度变化都极易产生气泡。普通流量计遇到气泡时信号剧烈波动，读数不稳，直接造成配比失控、工艺异常。马莱玛依托时差式超声测量原理，搭配自研 DSP 数字信号处理算法，能够识别、过滤气泡带来的干扰信号，区分有效流体信号与气泡噪声，在含有分散气泡的工况下，依然维持流量读数平稳，减少数据跳变。

仪表采用直通式无死区流道，流道平顺通畅，气泡不易聚集滞留，降低大气团形成概率；内部无活动部件，不存在气泡冲击叶轮引发卡滞、磨损问题。接液部分选用高纯 PFA 材质，耐各类强腐蚀药液，无离子、颗粒析出，兼顾抗气泡能力与超高洁净要求，适配清洗液、蚀刻液、抛光浆料等多种介质。

设备结构紧凑，安装方式灵活，支持 4-20mA、脉冲、Modbus 等信号输出，可无缝对接 PLC、上位控制系统，稳定输出流量数据，支撑工艺闭环控制。出厂经过带气泡工况模拟测试，验证抗干扰性能，保障仪表在真实产线波动条件下的可靠性。

的抗气泡能力大幅降低因气泡干扰导致的工艺误判，减少药液配比偏差，提升批次一致性，降低良率风险。同时减少人工排气操作，提升产线自动化运行效率。面对湿法制程普遍存在的气泡难题，MALEMA 马莱玛流量计依靠稳定的抗气泡检测能力，为复杂高纯流体工艺提供持续可靠的流量监测保障。