【简介】MALEMA马莱玛-流量计-低压损
低压损设计，流体通行阻力小，不影响管路压力平衡，搭配高纯 PFA 材质、无活动件，适配半导体药液循环输送，降低泵体能耗。

MALEMA马莱玛-流量计-低压损

MALEMA马莱玛-流量计-低压损

MALEMA 马莱玛流量计具备低压损特性，采用直通式无阻流流道结构，是半导体湿法工艺、CMP 抛光、高纯化学品循环输送系统的优选流量监测仪表，尤其适合对管路压力控制严格的流体回路。

很多流量计内部设有节流孔、阻挡件、叶轮等结构，流体经过时会产生较大压力损失。为维持管路流量稳定，就需要泵体持续提高输出压力，不仅增加能耗，还容易造成管路压力波动，影响后端药液配比、喷淋等工艺的稳定性。马莱玛基于超声时差测量原理，流道内部无节流元件、无运动部件，流体通路平直顺畅，介质通过时阻力极小，实现低压损运行。

低压损设计对循环管路优势显著：药液循环泵的负载更低，减少泵的损耗与能耗，延长泵的使用寿命；同时管路压力工况不易被仪表干扰，整段流体系统压力分布平稳，避免因压降过大引发气蚀、析出结晶、气泡增多等次生问题，间接改善工艺稳定性。

接液材质为高纯 PFA，耐强酸强碱、强氧化剂腐蚀，无离子微粒析出，流道无死区，不易残留药液、堆积杂质，兼顾低压损、高洁净、耐腐蚀多重优势，适配蚀刻液、清洗液、抛光浆料、超纯水等介质。仪表自带 DSP 信号处理，抗气泡干扰强，测量稳定可靠。

仪表体积小巧，安装适配性强，支持 4-20mA、脉冲、Modbus 等多种信号输出，可接入 PLC 和上位系统，完成流量实时采集与工艺联锁控制。出厂标定严格，保证测量精度与重复性。

在长循环管路、多支路供液系统中，MALEMA 马莱玛流量计的低压损优势能够减少系统能耗，稳定管路压力环境，降低压力波动带来的工艺异常风险，助力高纯流体系统平稳、节能运行，为精密湿法制程提供可靠的流量测控方案。