【简介】MALEMA马莱玛-流量计-结构紧凑
结构紧凑小巧，占用空间小，适配洁净柜狭小安装空间，标准高纯管路接口，无活动件、低压损，便于半导体设备内集成布局。

MALEMA马莱玛-流量计-结构紧凑

MALEMA马莱玛-流量计-结构紧凑

MALEMA 马莱玛流量计主打结构紧凑，采用传感与变送一体化集成设计，体积小巧、占用空间小，专为半导体湿法设备、CMP 抛光机台、化学供给柜等内部空间紧张的高纯流体场景打造，适配设备小型化、模块化集成趋势。

在半导体湿法制程设备中，洁净柜内部管路密集、阀件众多，留给仪表的安装空间十分有限。分体式流量计、大体积仪表往往需要预留较大安装位置，增加管路布局难度，甚至影响整机结构设计。马莱玛流量计将超声传感单元、信号处理电路整合为一体，精简外壳结构，大幅缩小安装 footprint，对安装空间要求低。同时仪表对前后直管段要求宽松，无需预留很长的稳定直管段，便于在狭小柜仓、多支路密集管路中灵活布置。

仪表流道采用高纯 PFA 材质，直通无死区、无活动件，低压损，兼顾耐腐蚀、高纯洁净优势，不会因为紧凑化设计牺牲流体性能。依托 DSP 数字信号处理算法，具备优秀抗气泡能力，测量精度与重复性稳定，满足蚀刻液、清洗药液、CMP 抛光浆料、超纯水等介质的流量监测需求。

电气接口简洁，布线量少，支持 4-20mA、脉冲、Modbus 等多种信号输出，接线调试简单，可快速接入 PLC 与上位控制系统。标准化的高纯管路接头，可直接对接现有 PFA 管路，水平、竖直、倾斜多方位均可安装，适配不同设备内部布局。

紧凑的结构设计，便于设备厂商进行整机集成、模块化设计，降低设备柜体尺寸设计压力，提升管路排布密度。后期检修更换时拆装便捷，不干扰周边阀件与管路。在半导体、光伏精密流体设备小型化发展趋势下，MALEMA 马莱玛流量计凭借紧凑小巧的一体化结构，在有限空间内实现稳定可靠的流量测控，为高纯流体系统集成提供灵活的解决方案。