【简介】MALEMA马莱玛-流量计-兼容 PFA
采用标准 PFA 法兰 /flare 接头，材质匹配、无渗漏风险，接液同为高纯 PFA，无离子析出，适配半导体原有 PFA 管路直接对接。

MALEMA马莱玛-流量计-兼容 PFA

MALEMA马莱玛-流量计-兼容 PFA

MALEMA 马莱玛流量计具备优秀的 PFA 管路兼容特性，配套半导体行业标准 Flare 扩口接头，接液材质同样为高纯 PFA，可直接对接原厂 PFA 管路系统，广泛用于半导体湿法清洗、蚀刻、CMP 抛光等高纯药液供给回路。

在半导体超高纯流体系统中，整套管路、阀门、接头大多采用 PFA 材质，不同材质混搭连接容易出现密封不匹配、热胀冷缩不一致、析出污染、渗漏等隐患。马莱玛流量计采用同材质匹配设计，接头规格、密封形式与主流 PFA 管路配件统一，无需额外转接异径接头，规避不同材质连接带来的泄漏风险，也不会引入其他材质造成离子、微粒污染。

仪表内部为一体成型高纯 PFA 流道，直通无死区，无活动部件，兼顾耐腐、高纯洁净优势，可长期适配蚀刻液、清洗液、抛光浆料、超纯水等介质。材质一致，热膨胀系数匹配，在温度波动工况下密封性能稳定，不容易出现松动渗漏，保障药液输送回路的密封性与工艺安全性。

仪表对安装空间友好，结构紧凑，对前后直管段要求低，支持多方位安装。电气接口标准化，支持 4-20mA、脉冲、Modbus 信号输出，可快速接入 PLC 与上位控制系统。出厂在洁净环境完成装配与检测，洁净度符合半导体 UHP 超高纯流体管控标准。

良好的 PFA 管路兼容性，大幅简化管路改造、新机集成工作，减少转接配件使用，降低管路死点与泄漏点，缩短施工周期。整套流体回路保持全 PFA 材质体系，从源头保障药液纯度，减少交叉污染风险。在半导体化学供给柜、湿法设备集成项目中，MALEMA 马莱玛流量计依托和 PFA 管路的适配能力，实现无缝对接，为超高纯腐蚀流体提供稳定可靠的流量测控方案。