【简介】MALEMA马莱玛-流量计-测体积流
精准测量流体体积流量，采用超声时差原理，无活动件、直通无死区高纯流道，信号稳定，适配半导体、生化药液体积计量与输送监测

MALEMA马莱玛-流量计-测体积流

MALEMA马莱玛-流量计-测体积流

MALEMA 马莱玛体积流量计，基于超声时差测量原理，专注于流体体积流量的精准监测，是半导体湿法制程、CMP 抛光、生物医药、精细化工等高纯流体管路中常用的流量测控仪表。

体积流量是流体工艺最基础的测控参数，很多药液配比、输送计量、循环控制都以体积作为管控基准。马莱玛体积流量计依靠超声时差技术，通过超声波在流体中的传播时差计算流体体积流量，内部无叶轮、转轴等运动部件，从根源避免机械磨损、卡滞以及碎屑析出污染药液的问题，契合超高纯制程的洁净要求。

仪表采用直通无死区流道设计，流道内壁光滑平顺，药液不易残留结晶，换液冲洗。接液材质可选高纯 PFA 或 PEEK，耐强酸强碱、强氧化剂与有机溶剂，离子与微粒析出可控，适配超纯水、蚀刻液、清洗液、生物缓冲液等多种介质。内置 DSP 数字信号处理算法，具备良好抗气泡干扰能力，在湿法工艺常见的含气泡工况下，读数稳定，重复性优异。

仪表整体结构紧凑，安装便捷，对前后直管段要求宽松，支持多方位安装，可适配化学供给柜、湿法机台内部狭小空间。配备标准化电气接口，支持 4-20mA、脉冲、Modbus 等信号输出，可直接对接 PLC 和上位控制系统，实时输出瞬时体积流量、累积体积数据，方便工艺人员完成流量监控、定量加料与联锁控制。仪表出厂逐台标定，保障测量一致性。

稳定可靠的体积流量检测，能够满足绝大多数药液输送、配比、循环工艺的计量需求，相比多参数复合版本，成本更优，配置简单，调试门槛低。在以体积定量为标准的生产工序中，MALEMA 马莱玛体积流量计兼顾洁净、防腐、稳定的优势，为高纯流体提供简洁可靠的体积流量监测方案。