【简介】MKS美国-压力传感器-表压测量型
以现场大气压作为参考基准，检测介质与环境大气之间压差，结构简洁，适合非真空工况、常压附近压力监测场景。

MKS美国-压力传感器-表压测量型

MKS美国-压力传感器-表压测量型

MKS 美国 Baratron 电容薄膜表压型压力传感器，采用大气压参考测量原理，以现场环境大气为基准，精准检测介质压力与环境大气压之间的压差，结构稳定、响应精准，广泛应用于半导体常压工艺、管路压力监控、工业供气系统与非真空精密压力测控场景。

与绝压传感器内置真空参考腔不同，MKS 表压款传感器背部通气结构直通外界大气，测量基准跟随现场大气压实时更新。传感器正面接触被测气体介质，背部承受环境常压，通过检测两侧压力差得到表压数值，非常适合工作压力接近大气压、无需真空基准的工业工况。

传统普通表压传感器普遍存在精度差、稳定性弱、重复性低的问题，在精密工艺供气、管路稳压控制中容易出现读数漂移，导致压力控制不稳。而 MKS 表压型延续经典电容薄膜核心技术，采用高性能 Inconel 合金弹性膜片，力学形变均匀、可逆性强，具备超低迟滞、超高分辨率与优异重复性，区别于普通工业表压传感器。

传感器依托纯力学电容检测原理，测量结果不受气体种类、气体导热特性影响，可适配惰性气体、工艺压缩气体、洁净干燥空气等多种介质。搭配高精度出厂多点标定与智能温度补偿算法，有效抵消环境温度变化带来的膜片微形变与零点漂移，确保常压区间、微正压区间测量精准稳定。

在半导体设备供气稳压、管路压力监测、前端气体输送系统等场景中，工艺压力多以大气压为基准进行调控。MKS 表压传感器可实时捕捉微小正压波动，为调压阀、稳压系统提供精准反馈，稳定管路供气压力，避免压力波动造成设备进气异常、工艺参数偏移。

相较于绝压传感器，表压型号结构更精简、性价比更高，无需真空基准维护，适配大量常压及微正压工业场景。同时继承 MKS Baratron 系列高可靠、长寿命、低漂移的优势，长期运行稳定，校准周期长，大幅降低设备运维成本，是精密常压与微正压压力测控的优质选型。