【简介】MKS美国-压力传感器-洁净室级材质
浸润面 Inconel 合金，全焊接金属结构，无有机密封件，低放气低析出。不污染真空腔体，适配半导体洁净等离子工艺。

MKS美国-压力传感器-洁净室级材质

MKS美国-压力传感器-洁净室级材质

MKS Baratron 巴特拉压力传感器选用洁净室级材质打造传感芯体，浸润面为 Inconel 镍基合金，采用全焊接金属密封，不含橡胶、塑料等有机密封元件，放气率极低、杂质析出少，不会污染真空腔体，满足半导体高洁净制程严苛要求。

普通传感器大量使用 O 型圈、塑料垫片等有机材料，在真空、等离子辐射环境下持续释放挥发性杂质气体，污染物进入腔体后，会改变等离子化学环境，造成薄膜缺陷。MKS 在材料选型上规避有机构件，整体密封依靠金属熔接成型，不存在高分子材料放气、老化析出的问题，从源头降低污染源。Inconel 镍基合金表面稳定，金属析出量极低，符合半导体洁净环境要求。

全焊接一体成型结构，无缝隙、无粘接界面，减少介质滞留吸附，降低颗粒产生风险。恒温款型通过主动升温，提升浸润面温度，抑制工艺副产物冷凝附着，减少膜面污染物堆积；常温款适合洁净真空、低沉积物工况。芯体参考腔内置吸气剂，长期维持内部基准真空，减少气体释放，守护测量零点稳定。

传感器采用径向张拉 Inconel 膜片，保持低迟滞、高分辨率，力学电容测压具备气体无关测量特性，切换工艺气体不会引入额外杂质。内置膜片限位基座与双层安全壁，异常超压时防护膜片，防止破损带来介质污染。出厂执行洁净处理，配套低噪声信号调理电路，输出 0–10V 模拟信号，对接压力控制器、PLC，实现压力监测与联锁保护。

半导体 CVD、干法刻蚀等量产产线，对腔体洁净度极其敏感，微量杂质、气体析出就会造成等离子失稳，产生针孔、颗粒缺陷，降低芯片良率。MKS 巴特拉传感器依托洁净室级金属材质、全焊接无有机物设计，减少放气与析出，兼顾洁净度与耐腐蚀性能。广泛用于半导体、光学镀膜、科研真空装置等高洁净真空场景，保障腔体洁净，稳定批次工艺，降低污染带来的良率风险。