【简介】MKS美国-压力传感器-内置高真空参考腔
作为恒定绝压基准，隔绝大气压波动干扰，膜片对比被测压力与真空基准，稳定输出精准绝对压力读数

MKS美国-压力传感器-内置高真空参考腔

MKS美国-压力传感器-内置高真空参考腔

MKS 美国 Baratron 电容薄膜绝压型压力传感器，搭载内置高真空密封参考腔，为绝压测量提供稳定不变的压力基准，消除外界大气压波动带来的测量误差，是半导体真空、等离子工艺、科研真空装置等领域的核心压力测量设备。

普通表压传感器以现场大气作为参考基准，而大气压会随海拔、季节、天气发生变化，直接引入测量偏差，无法满足真空工艺对压力真值的严苛要求。绝压传感器则需要一个恒定不变的基准，MKS 通过在传感器内部封装密封的高真空腔，以此作为固定零点基准，不受外部环境影响。

传感器核心结构将 Inconel 合金弹性膜片分隔为两侧，一侧通入被测工艺介质，另一侧就是经过抽真空并全金属焊接密封的高真空参考腔。参考腔在出厂前被抽取至高真空状态，再采用焊接工艺实现密闭，内部真空度长期保持稳定。工作时，被测介质压力与参考腔真空形成压差，推动膜片产生微形变，改变极板间隙，电容信号随之改变，经过电路换算，直接输出绝对压力值。

这套内置真空基准配合成熟的电容薄膜传感原理，测量结果仅取决于被测介质与内部真空之间的压差，与外界大气压力无关。同时依托 Inconel 膜片低蠕变、可逆形变特性，搭配出厂多点标定与温度补偿电路，抑制温变带来的零点漂移，保障基准稳定，读数长期可靠。

在半导体晶圆刻蚀、薄膜沉积等制程中，工艺参数以绝对压力作为标准，微小的基准扰动就会造成等离子状态偏移，影响膜层厚度与刻蚀形貌。MKS 传感器依靠内置高真空参考腔，持续输出不受天气、环境气压干扰的真实绝压，向真空泵、调压阀提供稳定反馈，维持腔体工艺条件一致，保障产品良率。

全金属焊接密封牢牢锁住参考腔内部真空，杜绝缓慢漏气造成基准劣化，延长传感器使用寿命与现场校准周期，降低产线停机维护成本。内置高真空参考腔作为 Baratron 绝压传感器的核心设计，奠定了高精度绝压测量的基础，使其成为真空精密测控领域的主流选择。