【简介】MKS美国-压力传感器-膜片破裂内置安全收容
一旦膜片破损可限制介质扩散，防止高压冲击侵入参考腔，保障设备与真空系统安全。

MKS美国-压力传感器-膜片破裂内置安全收容

MKS美国-压力传感器-膜片破裂内置安全收容

MKS 美国 Baratron 电容薄膜压力传感器搭载膜片破裂内置安全收容结构，当接液膜片意外破损时，可约束介质扩散路径，阻挡高压流体冲击进入内部真空参考腔，保护整套真空工艺系统，降低设备安全风险。

在半导体生产过程中，系统压力异常冲击、介质长期腐蚀，存在极小概率造成合金接液膜片破裂。若无防护结构，高压工艺气会瞬间涌入传感器内部参考腔，直接摧毁内部真空基准，气体倒灌进入工艺腔体，引发腔体压力骤变、污染扩散，甚至损坏真空泵、阀组等昂贵真空设备，造成产线紧急停机与安全隐患。

内置安全收容结构集成在传感芯体内部，紧邻镍基合金接液膜片后方，采用高强度合金限位防护组件。正常工作状态下，收容结构不干扰膜片微米级弹性形变，不会影响压力测量精度、分辨率与重复性。一旦膜片发生撕裂破损，该结构可快速截留介质，限制气流流速与扩散范围，削弱冲击能量，阻挡大量介质向传感器内部参考腔方向侵入，减轻对后端真空系统的冲击。

产品延续 Baratron 成熟电容薄膜测量原理，采用全金属焊接密封芯体，可选内置高真空参考腔搭配吸气剂维持基准，支持恒温加热、高温烘烤等多种版本。出厂经过 100% 氦检漏与多点标定，具备低蠕变、超低迟滞特性，测量结果不受气体种类影响。

在半导体刻蚀、沉积等连续量产真空产线，系统压力波动频繁，设备安全防护尤为关键。具备膜片破裂安全收容的 Baratron 传感器，可作为一道被动安全屏障，即便膜片失效，也能大幅降低介质倒灌、腔体压力失控的风险，减少工艺腔大面积污染，缩短故障处置时间，保护晶圆与核心真空设备。

该安全结构不牺牲传感器原有测量性能，在不增加过多体积前提下提升系统容错能力，属于半导体真空设备的重要被动安全设计，有效规避膜片失效带来的连锁设备故障，是高压波动工况下真空压力监测的优选安全型传感器。