【简介】MKS美国-压力传感器-蒸汽介质适配能力
全合金接液与焊接密封结构，耐水汽腐蚀，可抵御冷凝冲击，适配半导体蒸汽工艺真空压力监测

MKS美国-压力传感器-蒸汽介质适配能力

MKS美国-压力传感器-蒸汽介质适配能力

MKS 美国 Baratron 电容薄膜压力传感器具备稳定可靠的蒸汽介质适配能力，全套接液部件采用耐蚀合金搭配全金属焊接密封芯体，耐受水汽电化学腐蚀，抵御冷凝液冲击，适用于半导体水汽氧化、蒸汽清洗等工艺的真空压力监测。

半导体水汽氧化、原位蒸汽清洗工艺会引入高温水蒸气，蒸汽抵达低温传感内腔时极易凝结形成液态水。普通不锈钢传感器长期处于湿热环境，会发生电化学锈蚀；配备橡胶类密封件的产品，在高温水汽作用下加速老化溶胀，引发微泄漏与零点漂移。膜片表面附着冷凝液还会改变膜片受力状态，干扰弹性形变，造成压力读数失真，频繁维护会打断产线连续生产。

传感器接液膜片、腔体选用镍基耐蚀合金，配合全金属焊接密封传感芯体，无有机弹性密封件。合金基材在湿热水汽环境中形成致密钝化保护膜，有效抵御水汽诱发的电化学腐蚀，减少点蚀生成。致密的金属焊缝可阻挡水汽渗透，保护传感器内部真空基准不被水汽污染。可选加热型配置，使传感头温度高于介质露点，从根源上避免蒸汽在膜片表面冷凝。

产品依托 Baratron 经典电容薄膜测量原理，压差驱动合金膜片产生微米级弹性形变，将形变量转化为电容信号输出。可选内置高真空参考腔搭配吸气剂，长期稳固绝压测量基准；支持高温烘烤版本，便于腔体除气。出厂执行 100% 氦检漏与多点标定，具备低蠕变、超低迟滞、高分辨率特性，测量结果不受气体种类影响，可选膜片破裂安全收容结构，提升整套真空系统安全冗余。

在半导体蒸汽相关量产工艺中，高温蒸汽与冷凝风险长期存在。适配蒸汽工况的 Baratron 传感器可持续稳定采集腔体真空压力，向真空泵、工艺阀组输出精准闭环控制信号，维持腔体压力恒定，保障晶圆表面处理工艺一致性，降低水汽腐蚀、冷凝干扰带来的各类工艺缺陷。

整套接液与密封结构针对湿热蒸汽工况专项优化，抑制冷凝干扰、抵御水汽电化学腐蚀，有效延长传感器服役周期，减少备件更换频次与停机维护成本，解决蒸汽环境下传感器锈蚀、冷凝干扰读数的行业痛点，是半导体含蒸汽工艺真空压力监测的优选传感器。