【简介】MKS美国-压力传感器-气体种类无关测量
测量结果与气体种类无关，无需随气体更换重新校准，稳定精准，多用于半导体真空腔体压力监测。

MKS美国-压力传感器-气体种类无关测量

MKS美国-压力传感器-气体种类无关测量

MKS Baratron® 电容膜片压力传感器，核心测量原理仅响应压力产生的机械形变，测量读数不受气体种类影响，更换工艺气体无需重新校准，测量稳定可靠，广泛应用半导体刻蚀、镀膜、光伏、科研真空腔体，实现真空压力在线监测与工艺闭环控制。

传感器核心为精密金属电容膜片，膜片与固定电极构成电容单元。当腔体压力变化，压差推动超薄膜片发生微小形变，膜片与电极间电容随之改变，电路将电容信号转换成对应的压力数值。该原理检测的是物理压力本身，不依赖气体分子热传导、电离等气体特性。无论氮气、氩气、氧气或是各类工艺混合气，只要压力值相同，传感器输出读数保持一致，真正做到测量结果和气体组分无关。

传统皮拉尼、热偶真空计依靠气体热传导特性工作，不同气体导热系数差异大，更换气体后读数会出现明显偏差，每次切换气体都要重新标定，增加工艺调试成本。而 MKS Baratron 传感器不存在该问题，工艺端切换气体种类时，无需停机校准，大幅缩短换型时间，减少工艺波动。产品量程覆盖超高真空到常压，自带温度补偿，降低环境温度漂移，不锈钢浸润件适配洁净工艺气体，输出标准模拟信号，可接入真空控制器与工控系统，用于压力监控、气体配比、工艺联锁。

该产品优势突出，但膜片属于精密薄壁零件，腐蚀性气体、粉尘颗粒会造成膜片不可逆损伤，导致测量失准。介质工况恶劣时，建议增加前置过滤、防腐隔离结构。传感器为绝压测量方案，适合洁净工艺气体，不适合含有大量液滴、固体颗粒的介质。

在半导体、真空镀膜等工艺中，经常需要切换多种工艺气体，传统真空仪表读数偏移问题一直困扰工艺工程师。MKS Baratron 电容膜片压力传感器依托物理形变检测原理，实现气体种类无关测量，切换气体无需重新标定，持续提供精准、一致的压力数据，稳定工艺品质，减少停机标定工时，是多气体切换真空工艺的精密压力传感方案