【简介】MKS美国-压力传感器-全量程线性输出
具备优异全量程线性输出，信号与压力呈良好线性关系，测量误差小，适配半导体真空精密压力测控。

MKS美国-压力传感器-全量程线性输出

MKS美国-压力传感器-全量程线性输出

MKS Baratron® 电容膜片压力传感器依托成熟电容膜片传感技术，实现全量程优异线性输出，传感器输出信号与被测压力保持稳定线性对应关系，测量偏差小，可用于半导体刻蚀、真空镀膜、光伏制程、科研真空腔体等场景，完成真空压力在线监测与工艺闭环控制。

传感器核心由超薄金属膜片与固定电极组成电容单元。压力变化带来膜片形变，改变极板间电容值，内部电路采集电容信号并做信号调理，输出标准模拟信号。经过出厂多点标定与线性修正，在整个有效量程区间内，压力输入与电信号输出维持高度线性关系，不会出现局部区间非线性畸变。系统获取信号后，可直接换算压力数值，简化上位机算法，无需分段补偿，降低控制系统开发难度。

产品自带温度补偿电路，削弱环境温度波动带来的零点与满量程漂移。量程覆盖超高真空至常压区间，介质接触部分采用不锈钢材质，适配洁净工艺气体。标准模拟信号输出，可直接接入真空控制器、PLC 与数据采集系统，用于腔体压力监控、气体流量配比、工艺压力联锁保护。出厂经过读数式多点高精度标定，进一步保障全量程线性指标，保证测量一致性。

对比普通真空计，部分仪表仅在窄区间保持线性，在量程上下端误差显著。MKS Baratron 传感器经过精密膜片加工与出厂线性校准，全量程区间线性度优秀，在低压段、中高压段均可稳定输出。但膜片属于精密薄壁元件，腐蚀性气体、固体颗粒、液滴会造成膜片损伤，破坏线性特性，介质条件差时需增设前置防护结构。

半导体真空工艺对压力闭环控制要求严苛，压力信号非线性会造成工艺控制失真，影响镀膜、刻蚀均匀性。MKS Baratron 压力传感器凭借稳定可靠的全量程线性输出特性，简化控制系统数据处理，全测量区间维持高精度压力反馈，保障工艺压力闭环调节稳定，减少工艺批次波动，为真空精密工艺提供可靠的压力传感解决方案。