【简介】MKS美国-压力传感器-Inconel 镍基合金湿区
耐腐蚀性强，抗工艺气体侵蚀，保护精密膜片，适配半导体腐蚀性真空工艺压力监测。

MKS美国-压力传感器-Inconel 镍基合金湿区

MKS美国-压力传感器-Inconel 镍基合金湿区

MKS Baratron® 压力传感器可选 Inconel 镍基合金湿区版本，所有与工艺气体接触的浸润腔体、传感膜片均采用 Inconel 镍基合金制造，具备优异耐腐蚀性、抗氧化性与耐高温性能，可抵御半导体各类腐蚀性工艺气体侵蚀，广泛用于刻蚀、薄膜沉积等含卤化物、活性气体的真空工艺腔体，实现腐蚀工况下压力在线监测与工艺闭环控制。

Inconel 镍基合金以镍、铬为基础，添加钼、铌等元素，在强腐蚀活性气体环境下，表面可形成致密钝化保护膜，抵抗卤素等离子体、酸性气体腐蚀，相比 316 不锈钢，耐点蚀、耐晶间腐蚀能力大幅提升。核心电容膜片采用 Inconel 材质，兼顾高弹性与抗腐蚀特性，压力变化引起膜片弹性形变，改变极板电容，内部电路将电容信号转换为标准压力输出，保持电容膜片传感原理优势，测量不受气体种类影响。

产品采用全金属焊接密封结构，无橡胶密封圈，避免橡胶件被腐蚀老化。搭配出厂多点温度补偿与高精度标定，保证全量程线性输出、长期测量稳定。输出标准模拟信号，可接入真空控制器、PLC 与数据采集系统，用于腔体压力监控、气体配比调节、工艺联锁保护。部分型号可叠加加热温控功能，进一步防止易凝露腐蚀介质附着膜片。

普通不锈钢湿区传感器，在卤素等腐蚀性工艺气体长期作用下，会发生点蚀，膜片出现损伤，造成零点漂移、测量失效。Inconel 镍基合金湿区版本针对性解决腐蚀介质难题。但该材质并非万能，强氧化性工况仍需要评估；介质内大量固体颗粒冲刷会磨损膜片，恶劣工况建议增加前置过滤防护。

半导体刻蚀、沉积工艺经常使用卤素类强腐蚀前驱气体，普通材质真空计极易被侵蚀，频繁出现故障、漂移，影响生产良率。MKS Baratron Inconel 镍基合金湿区压力传感器，依靠镍基合金抗腐蚀能力，保护核心传感膜片，稳定压力测量精度，降低传感器更换频次，减少工艺停机维护时间，为腐蚀性真空工艺提供高可靠的精密压力监测方案。