【简介】MKS美国-压力传感器-Incoloy 耐蚀合金结构
抗多种腐蚀工艺气体，耐高温抗氧化，湿区稳定性强，适配半导体腐蚀性真空工艺压力监测。

MKS美国-压力传感器-Incoloy 耐蚀合金结构

MKS美国-压力传感器-Incoloy 耐蚀合金结构

MKS Baratron® 压力传感器可选 Incoloy 耐蚀合金结构版本，传感膜片与介质浸润腔体采用 Incoloy 铁镍铬基耐蚀合金打造，兼具优异耐化学腐蚀、高温抗氧化能力，可耐受多种腐蚀性工艺气体，广泛应用半导体刻蚀、薄膜沉积、特种真空工艺腔体，实现腐蚀工况下压力在线监测与工艺闭环控制。

Incoloy 合金以铁镍铬为基体，添加钼、铜等合金元素，融合不锈钢与镍基合金的优势，抗氯离子、酸性气体、高温氧化性能突出，在中高温腐蚀环境下，表面形成稳定钝化层，抵抗活性工艺气体侵蚀。核心电容膜片采用 Incoloy 材质，压力变化驱动膜片弹性形变，改变极板电容，调理电路将电容信号转化为标准压力输出，延续电容膜片原理优势，测量结果不受气体种类影响。

产品采用全金属焊接密封结构，不含易被腐蚀的非金属密封件，大幅降低渗漏风险。出厂完成多点标定与温度补偿，保障全量程线性输出、低温漂与优异重复性。输出标准模拟信号，可对接真空控制器、PLC 与数据采集系统，用于腔体压力监控、气体配比调节、工艺联锁保护。该版本可搭配加热温控选项，防止易冷凝腐蚀介质附着膜片，进一步提升恶劣工况可靠性。

对比常规 316 不锈钢湿区，Incoloy 耐点蚀、抗高温氧化能力更强；对比 Inconel 镍基合金，在部分含硫、中温腐蚀工况具备更好性价比。但 Incoloy 依然存在适用边界，强氧化剂会破坏钝化膜；介质内大量固体颗粒冲刷会磨损膜片，恶劣工况建议加装前置过滤防护。

半导体产线部分工艺同时存在高温与腐蚀性气体，普通不锈钢真空计容易发生点蚀，Inconel 成本偏高。MKS Baratron Incoloy 耐蚀合金结构压力传感器，兼顾耐蚀性能与成本优势，保护膜片不被工艺气体侵蚀，维持压力测量精度稳定，减少传感器更换频次，降低产线停机维护成本，为中高温腐蚀性真空工艺提供高性价比精密压力监测方案。