【简介】MKS美国-压力传感器-316 不锈钢湿面可选
湿区耐洁净工艺气体腐蚀，稳定性好，适配通用真空制程，依托电容膜片技术完成精密压力监测。

MKS美国-压力传感器-316 不锈钢湿面可选

MKS美国-压力传感器-316 不锈钢湿面可选

MKS Baratron® 压力传感器提供 316 不锈钢湿面版本可选，介质接触的浸润腔体、传感膜片采用 316 不锈钢材质，具备良好抗氯离子与一般腐蚀能力，适配洁净、中性工艺气体，广泛应用真空镀膜、光伏、科研真空系统、半导体非腐蚀制程腔体，实现真空压力在线监测与工艺闭环控制。

产品延续经典电容膜片测量原理，压力变化推动 316 不锈钢超薄膜片产生弹性形变，改变极板间电容，内部信号调理电路将电容变化转换成标准压力信号输出。316 不锈钢添加钼元素，相比 304 不锈钢，抗点蚀能力更强，在洁净工艺气体、含微量氯离子的干燥气体环境下稳定性优异，不易锈蚀。全金属焊接结构，无橡胶密封件，减少污染介质风险，满足高纯工艺气体使用需求。

出厂完成多点读数式标定与温度补偿，保证全量程线性输出、低温度漂移、优异重复性与长期稳定性。输出标准模拟信号，可接入真空控制器、PLC 与数据采集系统，用于腔体压力监控、气体配比调节、工艺联锁保护。316 不锈钢湿面版本相比 Inconel、Incoloy 耐蚀合金版本，成本更友好，是洁净无强腐蚀工艺的优选方案。

对比 Inconel 镍基合金湿区，316 不锈钢不适用于卤素、强腐蚀性等离子体工艺，容易发生点蚀；但在中性洁净气体工况性价比突出。湿面为精密薄壁膜片，介质中粉尘颗粒、冷凝液会造成膜片损伤，引发测量漂移，工况较差时建议配置前置过滤或隔离装置。

在半导体、真空镀膜等众多通用真空工艺中，工艺气体洁净无强腐蚀性，无需昂贵的镍基合金湿区。MKS Baratron 压力传感器 316 不锈钢湿面版本，兼顾洁净度、耐蚀能力与成本优势，依托成熟电容膜片技术，稳定采集真空压力数据，保障工艺压力控制精准，减少设备投入，为洁净中性气体真空工艺提供高性价比精密压力监测方案。