【简介】MKS美国-压力传感器-高爆破压力安全设计
当压力超限，膜片可控破裂泄压，防止腔体压力骤升引发危险，保障真空设备与工艺安全。

MKS美国-压力传感器-高爆破压力安全设计

MKS美国-压力传感器-高爆破压力安全设计

MKS Baratron® 电容膜片压力传感器搭载高爆破压力安全设计，在传感腔体内部设置可控爆破结构，当系统压力超出极限值时，膜片按预设阈值发生破裂泄压，避免压力持续累积造成腔体、管路爆裂风险，广泛应用半导体刻蚀、真空沉积、光伏工艺腔体、科研真空系统，兼顾精密压力监测与设备安全防护。

传感器核心为预应力张力合金电容膜片，正常工作区间依靠膜片弹性形变感知压力，维持电容测量原理各项优势。爆破压力是高于额定过压上限的安全阈值，当意外故障导致腔体压力急剧飙升，压力达到爆破限值后，膜片会受控破裂，实现腔体泄压，防止高压冲击损坏真空腔体、阀门与后端昂贵工艺设备。该安全结构为被动式防护，无需额外供电，作为超压保护的最后一道屏障。

产品延续全焊接金属密封腔体，无有机密封件，湿区材质可选 316 不锈钢、Incoloy、Inconel 耐蚀合金。出厂 100% 氦检，配套多点读数式标定与温度补偿，保证全量程线性输出、低温度漂移、优异重复性。输出标准模拟信号，可接入真空控制器、PLC 与数据采集系统，用于腔体压力监控、气体配比调节、工艺联锁保护。部分型号支持加热温控、200℃高温版本，适配易凝露、高温腐蚀气体工况。

普通真空压力传感器缺少爆破安全设计，突发超压时，压力无法释放，极易造成腔体变形、管路炸裂，带来安全事故与巨额设备损失。MKS Baratron 高爆破压力设计，提供被动安全兜底。但爆破膜片一旦破裂，传感器将失效，需要更换；该安全结构不能替代独立压力安全阀，工艺系统仍建议配置主动压力联锁保护。

半导体真空工艺腔体内部集成精密昂贵组件，阀门误动作、供气失控等故障会引发腔体意外超压。MKS Baratron 压力传感器，在提供高精度压力监测的同时，内置高爆破压力安全设计，作为被动泄压防护，降低超压带来设备损毁风险，兼顾工艺测控精度与设备安全，为真空精密工艺提供测控 + 安全一体化压力传感方案。