【简介】MKS美国-压力传感器-耐臭氧蒸汽去离子水
，耐受臭氧、蒸汽与去离子水工况，抗氧化侵蚀，膜片性能稳定，适配湿法工艺与洁净腔体压力监测。

MKS美国-压力传感器-耐臭氧蒸汽去离子水

MKS美国-压力传感器-耐臭氧蒸汽去离子水

MKS Baratron® 压力传感器可选 Inconel、Incoloy 耐蚀合金湿区版本，可耐受臭氧、饱和蒸汽以及去离子水介质侵蚀，抗氧化能力突出，保护膜片不受氧化介质损伤，广泛应用半导体湿法腔体、洁净清洗系统、臭氧氧化工艺，实现湿法洁净工艺压力在线监测与工艺闭环控制。

臭氧属于强氧化性介质，蒸汽伴随高温，去离子水虽然纯度高，但溶解臭氧后具备较强氧化能力。普通不锈钢湿面在这类工况下，钝化膜容易被破坏，持续氧化腐蚀精密电容膜片，造成零点漂移、测量失准。Inconel 与 Incoloy 铁镍铬耐蚀合金，材料组分经过优化，在臭氧、湿热水环境下可维持稳定钝化层，抵抗臭氧氧化、水汽侵蚀。传感器沿用经典电容膜片原理，压力变化推动合金膜片产生弹性形变，改变极板电容，内部电路将电容信号转换为标准压力输出，测量不受气体组分影响。

传感器采用全焊接金属密封腔体，不含橡胶等有机密封件，防止有机物被臭氧氧化老化、析出污染洁净介质。产品 100% 出厂氦检漏，杜绝微漏隐患；出厂多点标定搭配温度补偿，保证全量程线性输出、低温度漂移、优异重复性。输出标准模拟信号，可接入真空控制器、PLC 与数据采集系统，用于腔体压力监控、气体配比调节、工艺联锁保护。可选加热温控结构，减少水汽冷凝附着膜片，进一步提升工况适应性。

普通压力传感器密封件和湿区材料不耐臭氧氧化，在蒸汽、去离子水混合环境中易老化破损。MKS 耐蚀合金湿区针对性适配这类强氧化洁净湿法工况。但该传感器依旧存在适用边界，高浓度臭氧长期持续冲刷、固体颗粒撞击膜片，依然会造成损伤；恶劣工况建议增加前置隔离防护结构。

半导体湿法清洗工艺大量使用臭氧、高温蒸汽与去离子水，对传感器耐氧化能力与洁净度要求严苛。MKS Baratron 压力传感器依托耐蚀合金湿区，抵御臭氧、蒸汽、去离子水的氧化侵蚀，维持测量精度稳定，减少传感器故障更换频次，降低洁净工艺污染风险，为湿法氧化洁净工艺提供可靠精密压力监测方案