【简介】MKS美国-压力传感器-宽压力量程覆盖
实现宽压力量程覆盖，高精度电容薄膜检测，信号稳定。适配真空至中压区间，广泛用于半导体薄膜沉积、刻蚀等工艺腔体压力监测。

MKS美国-压力传感器-宽压力量程覆盖

MKS美国-压力传感器-宽压力量程覆盖

半导体、真空镀膜及精密工艺设备运行过程中，不同工序对压力监测区间差异巨大，从高真空环境到中压工况切换频繁，普通压力传感器往往量程单一，一套产线需要配置多款传感器才能覆盖全流程，增加硬件成本与集成复杂度。MKS Baratron 电容薄膜压力传感器凭借宽压力量程覆盖特性，可在单一传感器上实现跨区间压力测量，满足多工况真空与压力监测需求，成为精密工艺测控的核心元件。

传感器采用成熟电容薄膜式测量原理，以高稳定性金属薄膜作为感应元件。当腔体压力发生变化，薄膜产生微小形变，内部电容随之改变，电路模块将电容信号转化为标准压力输出。依托 MKS 多年真空传感技术积累，在宽量程范围内仍保持优异的测量线性度与重复精度，不会因压力区间切换出现明显误差漂移，实现从高真空到中压区间的连续稳定测量。

该产品覆盖多个标准量程段，可根据工艺选型，单支传感器即可适配同一设备内不同工序压力监测需求，无需多型号传感器搭配使用，简化设备气路布局，降低备件种类与库存管理压力。传感器具备良好的环境适应性，抗电磁干扰能力强，输出信号平稳，能够实时捕捉压力的细微变化，快速反馈腔体压力波动，保障工艺重复性。

传感接触面选用耐蚀合金材质，可耐受多种工艺气体，适配 CVD、PVD、干法刻蚀、ALD 等半导体制程，也适用于真空热处理、科研真空装置、特种材料镀膜等领域。标准化电气与机械接口，方便设备集成与旧设备改造替换，兼容主流真空设备控制系统。每台传感器出厂均经过多点压力标定，全量程区间完成精度校验，保证全量程段测量可靠性。

在现代化产线柔性生产趋势下，同一台设备经常需要切换多种工艺，压力工作区间跨度大。MKS 这款宽量程 Baratron 压力传感器，凭借跨区间稳定测量能力，减少传感器数量，简化系统集成，降低维护与备件成本，持续保障腔体压力精准测控，助力提升工艺良率与设备稼动率，是宽工况真空压力监测的优选方案。