【简介】MKS美国-压力传感器-差压测量传感
采用电容薄膜原理，精准采集两点介质压力差值。高灵敏度膜片，抗过载，用于气体流量监测、过滤器压差、工艺腔体差压测控

MKS美国-压力传感器-差压测量传感

MKS美国-压力传感器-差压测量传感

在半导体供气回路、气体流量监测、管路过滤器、腔体压差控制等工艺环节，设备需要获取两点之间的压力差值，而非单点绝对压力或表压。普通压力传感器需采用双传感器做差值运算，增加硬件成本，还会引入双探头误差，影响压差控制精度。MKS Baratron 差压型电容薄膜传感器，专为两点压差直接测量设计，可实时精准采集两路介质压力差值，简化差压测控系统搭建。

传感器基于经典电容薄膜测量原理，感应膜片两侧分别接入两路被测压力介质，依靠两侧压力差驱动精密合金薄膜发生形变。膜片形变改变电极间电容，内部信号调理电路直接将电容变化换算为压差信号输出，无需控制系统做二次差值计算，消除双传感器采集带来的叠加误差，提升压差测量准确度。

核心传感膜片经过应力优化设计，具备良好抗过载能力，可承受单侧高压冲击，避免膜片性损伤。介质接触面选用耐蚀合金材料，可耐受多种工艺气体，适配洁净及轻度腐蚀气体工况。传感器拥有高灵敏度特性，能够识别微小压差变化，在低差压工况下依旧保持稳定的线性度与重复性，满足精密工艺的压差闭环控制需求。

信号输出平稳，抗电磁干扰能力强，响应迅速，可实时捕捉压差动态波动。广泛应用于半导体气体输送管路、过滤器堵塞监测、质量流量装置配套、双腔压差平衡、真空管路检漏、特种测试台差压测控等场景。标准化机械接口与电气输出，方便设备集成与原有测控系统升级改造。每台传感器出厂均进行多点压差标定，校验全量程测量精度。

很多精密工艺依靠压差实现流量调控与状态诊断，压差微小偏差就会造成供气不稳、过滤器失效漏检等问题。MKS Baratron 差压测量传感器，依靠单探头直接测压差，减少传感器数量，降低系统误差，兼顾精度与抗过载能力，稳定实现两路介质压差监测，助力工艺稳定运行，是气体管路与双腔压差测控的理想传感方案。