【简介】MKS美国-压力传感器-MicroPirani热真空传感
依托微型皮拉尼传感原理，体积小巧，测量低真空区间。响应快、功耗低，用于半导体粗真空监测、腔体预抽真空及真空检漏

MKS美国-压力传感器-MicroPirani热真空传感

MKS美国-压力传感器-MicroPirani热真空传感

半导体真空设备的预抽、粗抽阶段，需要对低真空区间进行持续监测。传统真空计体积大、功耗偏高，不利于紧凑型设备集成。MKS MicroPirani 热真空传感器采用微型皮拉尼传感原理，专为粗真空区间压力检测打造，体积小巧、功耗低，广泛用于腔体预抽、粗真空监测与真空检漏等场景。

传感器基于经典皮拉尼热传导原理：传感元件内部微型热丝通电维持恒定温度，气体分子碰撞带走热量，气体导热能力与腔体压力相关。电路采集热损耗变化，换算为真空压力读数。MKS 采用微加工工艺制备微型传感单元，相比传统皮拉尼真空计，芯片尺寸大幅缩小，整机结构紧凑，节省设备内部安装空间。

MicroPirani 传感单元功耗更低，发热量小，降低对周边精密器件的热干扰，同时延长元件使用寿命。产品主要覆盖粗真空量程，适配腔体从大气压抽到高真的过渡阶段，实时监测抽真空进程，判断腔体是否达到工艺启动前置条件，也可用于静态真空检漏，快速识别腔体泄漏异常。

该传感器具备较快响应速度，可实时反馈真空压力变化，输出稳定信号。支持数字与模拟信号输出，适配主流真空控制系统。接液结构耐洁净干燥工艺气体，标准化接口设计，便于集成到新真空设备，也可对存量真空机组进行改造升级。出厂经过多点标定，保证压力读数的重复性。

需要注意，皮拉尼原理测量值和气体种类存在相关性，不同气体导热系数不同会带来读数差异，适合氮气、空气等常规气体场景，选型时需确认工艺介质。在半导体刻蚀、沉积设备的粗抽管路、真空机组、Loadlock 腔等位置大量应用。

在真空设备小型化发展趋势下，粗真空监测元件需要兼顾体积、功耗与成本。MKS MicroPirani 热真空传感器凭借微型皮拉尼芯片，以紧凑低功耗方案完成粗真空监测，助力设备实现真空抽程监控与泄漏检测，是半导体真空机组前置监测的经济型真空传感方案。