【简介】MKS美国-压力传感器-超高测量精度
采用张拉 Inconel 膜片，实现超高测量精度，按读数值计算误差，低迟滞高分辨率，恒温控温抑制温漂，气体无关测量，适配半导体精密真空制程

MKS美国-压力传感器-超高测量精度

MKS美国-压力传感器-超高测量精度

MKS DE60ZIJJ 属于经典 Baratron 巴特拉电容式绝对压力传感器，以级超高测量精度为核心亮点，依托张拉式 Inconel 合金膜片芯体，采用按读数值百分比计算精度的计量方式，区别于普通仪表按满量程计算，在全压力区间均可维持优异测量性能，广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积等高精密真空工艺。

该型号核心传感膜片采用径向张拉工艺，消除膜片松弛带来的迟滞误差，具备分辨率，可捕捉微小压力变化。传感器内置恒温控制系统，稳定维持传感芯体工作温度，抵消环境温度波动带来的零点漂移与量程偏移，保障长期连续工况下的测量基准稳定。浸润面全为 Inconel 镍基合金，全焊接密封结构，耐受卤素等离子体与工艺副产物腐蚀，减少污染物附着造成的精度衰减，延长校准周期。

出厂采用多阶多点标定方案，建立专属修正曲线，对非线性、温变特性做数字化补偿，每台传感器拥有独立标定档案，数据可溯源。得益于力学式电容膜片测压原理，该传感器为气体无关测量，读数仅由压力带来的膜片形变决定，不受气体分子量、混合组分切换影响。在工艺更换不同气体时，无需重新修正参数，持续输出精准压力数值，保障等离子工艺稳定性与产品良率。

DE60ZIJJ 输出标准 0–10V 模拟信号，信号调理电路内置降噪设计，降低传输干扰，可直接接入压力控制器、PLC 与上位监控系统，完成闭环压力控制。传感器具备过压保护结构，高压工况下膜片可贴靠电极基底，避免膜片发生性损伤，提升设备运行安全性。

在半导体优良制程、光学镀膜、科研真空设备等场景，工艺压力微小波动即可直接影响等离子状态与成膜质量。MKS DE60ZIJJ 凭借超高测量精度、低迟滞、高重复性、耐腐蚀与气体无关特性，提供稳定、可溯源的压力检测数据，是精密真空压力测控的核心测量部件，为真空装备工艺稳定性提供底层保障。