【简介】MKS美国-压力传感器-常温非加热款
采用张拉 Inconel 膜片电容芯体，无内置加热模块。体积紧凑、功耗低，气体无关测量，适合洁净、低温、无大量副产物的真空压力监测

MKS美国-压力传感器-常温非加热款

MKS美国-压力传感器-常温非加热款

MKS Baratron 巴特拉常温非加热款压力传感器，保留经典张拉 Inconel 镍基合金电容膜片芯体，无内置加热与恒温模块，结构紧凑、功耗更低，兼顾高精度气体无关测量，适用于洁净真空、无大量冷凝副产物的工艺环境，是通用精密压力测控的经济型方案。

和恒温加热版本不同，该型号取消了闭环加热温控组件，传感芯体跟随环境温度工作，整体结构简化，体积更小，安装布置更加灵活，同时降低设备供电负荷。核心传感单元依旧采用径向张拉工艺的 Inconel 合金膜片，预紧消除残余应力，维持极低迟滞、高分辨率与优良测量重复性，力学电容测压原理保证气体无关测量特性，压力读数不受气体分子量、组分变化影响。

该型号出厂完成读数式多点标定，配套数字温度补偿算法，通过软件算法对环境温度变化带来的微小温漂进行校正，弥补硬件无恒温模块的短板。全焊接 Inconel 合金浸润面，耐一般腐蚀介质，适合氮气、氩气等洁净工艺气体。但由于无加热功能，当工艺存在大量聚合物、卤化物副产物时，污染物容易在膜片表面冷凝沉积，会逐步影响零点稳定性，因此更推荐用于洁净、低沉积物工况。

芯体配备膜片限位保护结构，突发过压冲击时限制膜片最大形变，避免塑性损伤。传感器输出标准 0–10V 模拟信号，可直接接入压力控制器、PLC 与上位监控系统，实现压力实时监测、闭环调控与超压联锁保护。整体维护简单，成本相比恒温加热款更有优势。

该常温非加热款多用于洁净真空腔体、真空锁气室、光学镀膜、科研真空装置等场景，这类工况工艺副产物少，不存在严重冷凝污染风险。在这类环境下，传感器依然可以稳定输出高精度压力数据，兼顾性能与成本，满足常规精密真空压力监测需求。而对于等离子刻蚀、CVD 沉积这类副产物多、易冷凝的强腐蚀工艺，则优先选用恒温加热版本。MKS 通过常温款与恒温款产品组合，覆盖不同真空工艺需求，给设备集成商提供灵活选型方案。