MKS美国-压力传感器-全焊接密封体 无有机密封圈,浸润面为 Inconel 合金。漏率低、放气少,耐腐蚀,保护参考腔真空基准,保障半导体真空工艺长期测量稳定与安全性。
750D33PFF4GA
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2026-10-17
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MKS美国-压力传感器-Inconel 合金膜片 采用径向张拉工艺,弹性可逆、迟滞低。耐等离子腐蚀,抗蠕变,力学稳定,支撑气体无关高精度压力测量,适配半导体真空工艺。
750D33PFF2GA
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2026-10-17
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MKS美国-压力传感器-常温非加热款 采用张拉 Inconel 膜片电容芯体,无内置加热模块。体积紧凑、功耗低,气体无关测量,适合洁净、低温、无大量副产物的真空压力监测
750D33PFE4GA
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2026-10-17
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MKS美国-压力传感器-恒温控温版本 Baratron 芯体内置闭环温控,稳定膜片工作温度。抑制温漂,阻挡工艺副产物冷凝沉积,零点长期稳定,适配半导体腐蚀性等离子真空工艺。
750D33PFE2GA
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2026-10-17
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MKS美国-压力传感器-低温度漂移 Baratron 张拉 Inconel 膜片搭配恒温与数字温度补偿。抑制温变引发零点与量程偏移,温度系数小,保障半导体变温工况下压力测量稳定。
750D33PCD3GA
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2026-10-17
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MKS美国-压力传感器-长期零点稳定 Baratron 张拉 Inconel 膜片应力低,参考腔内置吸气剂维持基准真空。搭配恒温抑制温漂,零点漂移极小,减少半导体产线校准频次。
750D23PCD2GA
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2026-10-17
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