MKS美国-电容压力计-无油测量 电容膜片传感结构不含油类介质，无油蒸汽污染风险，不会污染工艺腔体，适配半导体洁净真空制程。

MKS美国-电容压力计-线性度优良 压力变化和输出信号呈线性对应关系，误差小，测量区间信号平稳，便于接入工控系统实现工艺压力闭环调控。

MKS美国-电容压力计-重复性好 镍基合金膜片弹性稳定，压力往复变化读数一致性高，迟滞小，保障真空工艺多次测试结果可复现。

MKS美国-电容压力计-响应速度快 膜片灵敏，信号调理电路集成化，可快速捕捉真空压力瞬态变化，实时输出信号，适配真空工艺快速闭环控制。

MKS美国-电容压力计-温度影响低 搭配可选恒温结构与温度补偿电路，削弱温度变化带来的零点漂移，宽温环境下压力测量稳定可靠。

MKS美国-电容压力计-宽温工作 内置温度补偿，耐受环境温度波动，减少温漂。膜片稳定，在高低温工况保持测压精度，适配各类真空工艺环境。