【简介】MKS美国-电容压力计-宽温工作
内置温度补偿，耐受环境温度波动，减少温漂。膜片稳定，在高低温工况保持测压精度，适配各类真空工艺环境。

MKS美国-电容压力计-宽温工作

MKS美国-电容压力计-宽温工作

MKS 美国原厂 Baratron 电容压力计具备宽温工作能力，依托精密膜片材质与温度补偿机制，可耐受较大范围环境温度波动，有效抑制温漂，膜片力学性能稳定，在高低温工况下持续维持压力测量精度，适配各类复杂真空工艺环境。

传感器膜片选用 Inconel 镍基合金全焊接结构，材料本身具备优异的温度稳定性，弹性模量随温度变化幅度小，在高低温环境下不易发生不可逆形变。配合内置温度采集与数字化补偿电路，实时采集传感单元温度，对照原厂标定曲线对压力信号进行动态修正，抵消温度变化带来的零点与量程漂移。恒温型号则将传感核心维持在固定温度，进一步拓展适用温度区间，低压段测量性能更加稳定。

真空工艺现场温度条件差异明显。半导体洁净厂房、真空热处理设备、实验室平台，环境温度会随设备启停、季节更替发生变化。普通压力传感器对温度敏感，温变会造成膜片形变，引发读数漂移，导致工艺压力控制失稳。MKS 电容压力计宽温工作设计，大幅放宽环境使用限制，无论是常温洁净车间，或是靠近高温腔体的安装点位，都能够稳定采集压力数据。

宽温版本延续 Baratron 系列核心优势，测量结果不受气体组分干扰，无需针对不同工艺气体进行参数修正。产品具备优秀线性度、高分辨率，搭配过压与瞬时冲击防护结构，抵御工艺异常压力扰动。信号输出支持标准模拟电压与数字通讯接口，便于接入工控 PLC 实现压力闭环控制。全焊接密封参考腔耐腐蚀，可耐受工艺介质中微量酸性、卤素组分，减少膜片腐蚀老化。

美国原厂完成整机标定，出厂附带校准证书，批次品质稳定。标准化安装接口，集成方便，广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、真空镀膜、材料热处理、医药冻干、科研真空装置。依托 MKS 电容压力计宽温工作特性，仪器可适应温度波动较大的现场工况，降低环境温度带来的测量误差，延长校准周期，减少工艺参数波动，提升产品良率，为各类精密真空压力监测提供高适应性的传感解决方案。