产品介绍MKS美国-电容压力计-差压可选
MKS美国-电容压力计-差压可选
MKS Baratron 电容压力计系列除绝压、表压型号外,提供差压版本可选,专门用于测量两路介质之间的压力差值。沿用成熟电容膜片传感原理,具备高精度特性,测量结果不受气体组分影响,适用于精密管路压差监测与工艺闭环控制,丰富压力测量选型维度。
差压型压力计膜片两侧分别接入两路独立压力采样口,膜片承受两侧压力差产生弹性形变,改变膜片与固定电极之间电容间隙,传感电路采集电容变化,直接换算输出压差信号。该结构可以同时采集高压侧与低压侧压力,精准得到压力差值,无需两个独立压力计做后期减法运算,减少二次计算引入的叠加误差。
在很多精密工艺场景中,核心控制目标不是单点压力,而是两点压差。例如工艺气体管路过滤器压差监测、腔体上下游压差控制、流量孔板压差测量。若采用两台绝压或表压传感器分别测压再做差值计算,两套传感器的精度误差会叠加,降低压差结果可靠性。MKS 差压电容压力计单台完成压差直接测量,提升压差检测精度,简化系统硬件布局。
差压款延续镍基合金耐蚀膜片全焊接结构,抗疲劳能力强,可耐受工艺介质内微量腐蚀性组分。传感器具备良好线性度与重复性,微小压差变化都可被捕捉,支持模拟线性电压或数字通讯输出,便于接入 PLC、工控系统实现压差联动控制。部分型号可选恒温模块,抑制环境温漂,保障长时间连续测试稳定。产品自带压力过载防护,单侧超压可得到保护,降低膜片变形风险。
标准化机械接口,安装集成便捷,广泛应用于特种气体输送管路、过滤器堵塞监测、精密供气系统、薄膜工艺压差控制、实验室流体测试平台。依托 MKS 电容压力计差压可选方案,用户可根据工艺测量需求,在绝压、表压、差压三种类型之间灵活选型。在保持 Baratron 系列高精度、气体不敏感的核心优势下,实现压差直接采集,减少系统硬件数量与误差来源,为各类精密流体与真空工艺提供一体化压差测控方案。
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