【简介】MKS美国-电容压力计-抗过载能力强
镍基合金膜片弹性佳，短时压力冲击不易产生形变，保护传感核心，降低工艺误操作损坏风险。

MKS美国-电容压力计-抗过载能力强

MKS美国-电容压力计-抗过载能力强

MKS Baratron 电容压力计具备优异抗过载能力，采用镍基合金弹性膜片搭配内置限位保护结构，当遭遇瞬时高压冲击时，膜片会贴合电极基底，限制最大形变位移，避免膜片产生塑性变形，保护传感核心元件，降低工艺误操作带来传感器损坏的风险。

膜片选用 Inconel 镍基合金全焊接工艺，弹性抗疲劳性能出色。传感器内置机械限位结构，一旦压力超出量程，膜片受物理阻挡不会无限拉伸，以此抵御短时压力冲击。主流型号可承受 2 倍满量程过压，部分规格最高抗过压可达 45psia，突发升压工况下依旧可以保护核心传感组件，不会直接造成仪表报废。

真空与特种气体工艺中，阀门误动作、抽气异常、进气失控都容易引发瞬时压力骤升。普通压力传感器膜片无限位防护，一次过载冲击就会造成膜片形变，零点漂移，整台传感器失效，中断生产，增加备件成本。MKS 电容压力计自带限位过载防护，可承受工艺中偶然压力扰动，即便发生短时超压，泄压后依然可以恢复原有测量精度，减少停机维修。

产品延续 Baratron 电容传感优势，测量不受气体组分影响，精度、重复性保持稳定。可选恒温控温版本，降低环境温度漂移，在具备强抗过载能力的同时，维持长期测量稳定性。传感器内部参考腔全焊接密封，耐腐蚀，冷凝、微量酸性工艺介质不会快速侵蚀膜片，兼顾抗过载与耐介质腐蚀双重特性。信号输出支持标准模拟电压和数字通讯，便于接入 PLC 搭建工艺压力闭环控制。

广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、真空镀膜、热处理、医药冻干、特种气体供气系统。依托 MKS 电容压力计的抗过载能力，有效应对工艺异常压力冲击，降低传感器损坏概率，减少产线停机与备件投入。在保障高精度压力监测的基础上，提升设备在复杂真空工艺环境下的运行容错能力，为精密制程提供更安全可靠的压力测控方案。