BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-零点漂移小 内置温度补偿设计，长期连续运行基准稳定，减少校准频次，适配半导体腔体长时间真空监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-响应速度快 传感组件反应灵敏，可快速捕捉腔体真空波动，实时反馈压力变化，适配半导体动态真空工艺监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-宽量程测量 单台仪表覆盖粗真空至高真空区间，适配多段真空工况切换，用于半导体腔体真空连续监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-真空高精度 采用精密传感组件，真空区间测量误差小，响应迅速，适配半导体工艺腔体真空监测。