【简介】BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-宽量程测量
单台仪表覆盖粗真空至高真空区间，适配多段真空工况切换，用于半导体腔体真空连续监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-宽量程测量

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-宽量程测量

BROOKS 布鲁克斯真空测量仪具备宽量程真空测量能力，单台设备可覆盖粗真空至高真空区间，能够适配多段真空工况的连续切换监测，广泛应用于半导体真空腔体、真空输送管路等精密制程。

传统真空测量仪表量程区间较为单一，大多只能覆盖一段真空范围。工艺在抽真空、维持真空、破真空等阶段，真空度会发生跨度极大的变化，单一量程真空计会出现超量程或灵敏度不足的情况，需要多台不同类型真空计组合安装，增加管路接口、设备成本与泄漏风险，调试和维护流程也更为复杂。

布鲁克斯真空测量仪采用复合传感架构，针对不同真空区间的气体分子物理特性做优化设计，在从粗真空逐步过渡到高真空的全过程保持有效检测。抽真空初期低压强阶段可快速捕捉压力变化，高真空区间依旧保有足够灵敏度，不会出现读数失效。仪表内部算法针对不同真空段做补偿，降低不同区间的测量偏差，保证全量程范围内数据稳定可靠。

仪表支持半导体洁净工艺气体测量，抗气体组分干扰，温度漂移控制优异，信号响应速度快。可输出标准信号接入 PLC、DCS 自动化系统，实时上传真空数据，支持工艺联锁。设备壳体抗腐蚀，适配洁净车间环境，安装接口标准化，便于集成到真空腔体、气路模组。长期连续运行稳定性强，零点漂移小，校准周期长，减少停机维护。

在半导体刻蚀、薄膜沉积等工艺中，腔体需要经历抽气、稳态真空、泄压等一系列流程，真空跨度大。布鲁克斯宽量程真空测量仪一台即可覆盖全流程真空监测，无需在腔体上安装多支真空计，减少真空接口，降低泄漏隐患，全程跟踪真空度变化，保障工艺各阶段参数可控。

依靠复合传感与全量程补偿技术，该真空计打破传统真空仪表量程局限，简化真空系统配置，减少设备数量与潜在泄漏点，降低采购与运维成本，是多阶段真空工艺监测的理想测量设备。