【简介】BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-无油式设计
无润滑油污染风险，保障腔体洁净度，避免油蒸汽干扰真空读数，适配半导体洁净真空制程监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-无油式设计

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-无油式设计

BROOKS 布鲁克斯真空测量仪采用无油式结构设计，内部不含润滑油脂，消除油蒸汽返流污染腔体的隐患，维持工艺腔体高洁净度，避免油蒸汽干扰真空读数，适配半导体洁净真空制程监测。

半导体薄膜沉积、等离子刻蚀等工艺对腔体洁净等级要求，任何污染物都可能附着在晶圆表面，造成针孔、薄膜缺陷，直接降低产品良率。传统带油结构真空仪表，在高低真空循环工况下，油分子会随气流向上返流进入工艺腔体，形成有机污染。油蒸汽还会改变真空环境内气体组分，造成真空测量读数偏移，压力监测失真，引发工艺误判。一旦腔体被油污污染，需要长时间拆机清洗，产生高昂的停机与维护成本。

布鲁克斯真空测量仪采用纯无油传感架构，内部无润滑油、无油脂密封部件，从根源杜绝油蒸汽返流问题。仪表依靠精密金属传感元件完成压力检测，无需油液作为介质或润滑剂，不会向真空腔体释放有机挥发物。整机接液区域洁净，无析出物，满足半导体洁净车间的颗粒与有机污染物管控标准，不会对晶圆、镀膜层造成污染。

产品同时具备高精度、宽量程、响应快、低零点漂移等优势，全真空区间测量稳定，重复性优异。可输出标准信号接入 PLC、DCS 系统，实现真空参数实时采集与工艺联锁。搭配全金属腔体，气密性强，耐受温压循环冲击，部分型号接液材质可选耐蚀合金，兼容多种工艺气体。标准化真空接口，拆装便捷，易于集成到真空模组与工艺腔体。

在半导体洁净真空工艺场景，无油设计是保障腔体洁净的硬性条件。布鲁克斯无油式真空测量仪持续稳定监测真空度，不会引入油类污染物，有效保护腔体洁净环境，减少晶圆污染缺陷。

依托无油洁净架构，消除油蒸汽返流风险，解决传统含油真空计污染腔体、干扰测量的痛点，减少腔体清洗频次，降低停机损耗，是半导体高洁净真空腔体监测的优选设备。