【简介】BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-全金属腔体
刚性强、气密性优异，抗形变，可抵御工艺温压循环冲击，适配半导体真空腔体配套监测。

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-全金属腔体

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-全金属腔体

BROOKS 布鲁克斯真空测量仪采用全金属一体化腔体结构，整体刚性强，气密性优异，抗形变能力突出，可承受工艺反复抽真空、泄压带来的温压循环冲击，适配半导体真空腔体配套真空监测。

半导体制程真空系统需要频繁抽气、通气与泄压，伴随温度交替变化。塑料或非金属腔体的真空计，在压力交变、温度起伏环境下容易产生形变，引发密封失效、微泄漏问题。一旦出现漏气，真空度监测数据失真，直接干扰刻蚀、薄膜沉积等精密工艺，造成薄膜不均匀、批次品质差异，严重时会污染腔体，导致长时间停机检修。非金属壳体还不耐部分工艺蒸汽侵蚀，使用寿命短，无法满足洁净真空车间长期使用需求。

布鲁克斯真空测量仪选用全金属腔体一体加工成型，结构刚性高，在多次抽真空与泄压循环下不易发生形变，维持稳定的内部容积与密封状态。金属腔体采用精密焊接工艺，焊缝致密，漏率极低，有效杜绝微小泄漏，保障真空测量环境稳定。金属壳体同时具备良好导热性能，可均衡腔体温度，降低局部温差带来的零点漂移，提升测量稳定性。金属材质耐化学侵蚀，可耐受部分工艺腐蚀性蒸汽，适配半导体制程复杂工艺气氛。

产品兼具高精度、宽量程、响应迅速、低零点漂移等优势，全量程测量重复性稳定。支持标准信号输出，可接入 PLC、DCS 控制系统，实现真空参数实时采集与工艺联锁。外壳自带电磁屏蔽效果，抵御车间电机、射频设备带来的电磁干扰，读数稳定无杂波。标准化真空接口，安装集成简单，适配各类真空腔体与管路模组。

在半导体薄膜沉积、等离子刻蚀等真空工艺中，真空计本体气密性与结构稳定性至关重要。布鲁克斯全金属腔体真空测量仪依靠高强度金属结构，抵御温压循环冲击，长期保持良好气密性，避免微泄漏造成的工艺异常。

凭借一体化全金属刚性腔体与精密焊接密封工艺，解决非金属真空计易形变、易泄漏、不耐温压循环的短板，减少腔体泄漏风险，延长仪表使用寿命，是半导体制程真空监测的可靠设备