【简介】BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-抗颗粒污染
传感结构可阻挡工艺粉尘微粒沉积，减少传感器污染衰减，适配半导体等离子工艺真空监测。

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-抗颗粒污染

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-抗颗粒污染

BROOKS 布鲁克斯真空测量仪拥有优异的抗颗粒污染能力，传感前端采用防护结构设计，可阻挡等离子工艺产生的粉尘、微粒沉积在传感核心区域，延缓传感器性能衰减，适配半导体刻蚀、沉积等等离子工艺的真空监测。

半导体等离子刻蚀、薄膜沉积工艺运行过程中，腔体内会持续产生工艺副产物、固体微粒与粉末碎屑。这些微小颗粒会随气流进入真空计内部，附着在传感膜片或感应元件表面。普通真空测量仪缺少颗粒防护结构，微粒长期堆积会覆盖传感器感应区域，造成灵敏度下降、零点漂移，真空读数失真。污染严重时会直接堵塞仪表内部通道，引发传感器失效，需要频繁拆卸清洗，打断连续生产流程，带来高昂的停机维护成本。

布鲁克斯真空测量仪针对颗粒工况优化传感前端防护结构，设置微粒阻挡通路，对工艺粉尘、固体副产物进行阻隔，减少颗粒直接附着在核心感应膜片上。传感元件表面经过特殊钝化处理，降低微粒吸附能力，减缓污染物堆积速度。仪表内部气路结构经过流体仿真优化，在保障真空压力正常传导的前提下，降低微粒滞留概率，减少污染物对测量性能的干扰。接液腔体采用全金属材质，不易被颗粒划伤，耐磨损性能更强。

产品保留高精度、宽量程、快速响应、低零点漂移等核心优势，全真空区间测量稳定，重复性良好。支持标准信号输出，可接入 PLC、DCS 系统，实现真空度实时监控与工艺联锁保护。整机抗电磁干扰，气密性可靠，标准化真空接口，集成安装简单，适配洁净车间腔体模组安装。

在等离子类半导体制程中，工艺粉尘是真空仪表失效的主要诱因。布鲁克斯抗颗粒污染真空测量仪可在含微粒的工艺气氛中长期稳定采集真空数据，降低颗粒附着带来的测量偏差，延长传感器清洁周期，减少拆机维护次数。

依靠前端颗粒防护结构与优化气路设计，解决普通真空计易积尘、易失效的痛点，降低颗粒污染造成的工艺异常风险，减少停机清洗损耗，是含微粒工艺腔体真空监测的可靠设备