【简介】BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-真空高精度
采用精密传感组件，真空区间测量误差小，响应迅速，适配半导体工艺腔体真空监测。

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-真空高精度

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-真空高精度

BROOKS 布鲁克斯真空测量仪搭载高精度真空传感组件，在宽真空量程区间内保持优异测量精度，信号响应迅速，读数漂移小，专为半导体工艺腔体、真空管路提供稳定可靠的真空度监测。

半导体镀膜、刻蚀、沉积等工艺对真空环境要求严苛，真空度微小波动就会直接影响薄膜均匀度与成品良率。普通真空仪表容易受温度漂移、气体组分影响，测量误差偏大，在高真空区间灵敏度不足，无法捕捉细微压力变化。一旦真空参数失准，会造成工艺批次差异，严重时引发腔体污染、设备故障，带来高昂的停机损失。

布鲁克斯真空测量仪采用精密真空传感器，经过出厂多点校准，全量程区间严格控制测量偏差，高低真空段均可维持高灵敏度。传感器热稳定性强，降低温度变化带来的零点漂移，能够快速捕捉腔体压力变化，信号反馈及时。仪表结构抗干扰能力强，可抵御工艺环境电磁干扰，保证真空读数稳定，减少随机波动。

仪表适配半导体常用真空压力区间，支持多种气体介质测量，可兼容洁净工艺气体。输出信号稳定，可接入 DCS、PLC 控制系统实现实时监控与工艺联锁。仪表具备良好长期稳定性，长时间连续运行无需频繁校准，维护周期更长。产品壳体抗腐蚀，防护性能优秀，适配洁净车间、真空腔体周边安装环境，安装调试便捷。

在半导体制程腔体、真空输送管路场景，真空度是工艺核心参数。布鲁克斯高精度真空测量仪可持续采集腔体真空数据，精准反馈真空状态，帮助操作人员及时发现真空泄漏、压力异常等问题，稳定制程环境，降低产品不良率。

依托精密传感技术与严苛出厂标定，该真空测量仪实现高灵敏度、低漂移的真空检测能力，满足精密半导体工艺对真空监测的严苛要求，解决普通真空计精度不足、响应慢的痛点，是真空腔体与真空管路监测的优选仪表