【简介】BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-耐腐蚀介质
可耐受多种腐蚀性工艺气体，传感器不易被介质侵蚀，适配半导体腐蚀工艺腔体真空监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-耐腐蚀介质

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-耐腐蚀介质

BROOKS 布鲁克斯真空测量仪选用特种耐蚀接液材质，可耐受多种腐蚀性工艺气体，传感器核心结构不易被介质侵蚀损伤，能够稳定用于半导体腐蚀类工艺腔体与真空管路的真空度监测。

半导体刻蚀、湿法配套真空制程常会通入卤素、酸性等腐蚀性工艺气体。这类介质活性强，会持续侵蚀真空计内部传感膜片与金属接触面。普通真空测量仪接液材料抗腐蚀能力不足，长期接触腐蚀介质后会出现膜片点蚀、老化破损，造成真空读数漂移、传感器失效。仪表损坏不仅会中断工艺，还可能引发腔体泄漏、污染，带来高昂的备件更换与停机成本。

布鲁克斯真空测量仪针对腐蚀工况做材料选型优化，接液接触面采用高耐蚀合金材质，抵御卤素、酸性蒸汽等工艺介质的化学侵蚀，降低介质对传感膜片的腐蚀速率。传感器内部结构经过钝化处理，减少腐蚀介质附着与沉积，延缓元件老化。整机密封件选用耐化学腐蚀特种材料，避免介质渗透造成内部电路损坏，保障仪表在腐蚀性气体环境下持续稳定工作。

产品兼具高精度、宽量程、低零点漂移、响应迅速等优势，全真空区间测量重复性优异。支持标准信号输出，可接入 PLC、DCS 系统，实现真空实时监控与工艺联锁保护。仪表外壳带电磁屏蔽，适配洁净车间复杂工况，标准化真空接口，安装集成便捷，维护周期更长。

在半导体腐蚀工艺腔体、含腐蚀性气体的真空输送管线场景，介质耐蚀性是仪表稳定运行的关键。布鲁克斯耐腐型真空测量仪可长期在腐蚀性工艺气氛中监测真空度，减少介质侵蚀带来的传感器故障，降低仪表更换频次，保障工艺连续稳定运行。

依托特种耐蚀接液材料与钝化防护设计，该真空计解决普通真空仪表不耐腐蚀、易被工艺介质损毁的痛点，大幅延长传感器使用寿命，减少备件消耗与停机维修损耗，是含腐蚀介质真空工艺监测的理想设备。