BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-适配高纯气 接液材质洁净无析出，不污染气路，可稳定监测半导体高纯气体环境下腔体真空度

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-抗颗粒污染 传感结构可阻挡工艺粉尘微粒沉积，减少传感器污染衰减，适配半导体等离子工艺真空监测。

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-无油式设计 无润滑油污染风险，保障腔体洁净度，避免油蒸汽干扰真空读数，适配半导体洁净真空制程监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-全金属腔体 刚性强、气密性优异，抗形变，可抵御工艺温压循环冲击，适配半导体真空腔体配套监测。

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-耐腐蚀介质 可耐受多种腐蚀性工艺气体，传感器不易被介质侵蚀，适配半导体腐蚀工艺腔体真空监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-长期稳定性 传感膜片抗工艺污染，老化衰减缓慢，长时间连续工况下真空读数稳定，适配半导体腔体长期不间断真空监测