BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-全金属腔体 刚性强、气密性优异，抗形变，可抵御工艺温压循环冲击，适配半导体真空腔体配套监测。

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-耐腐蚀介质 可耐受多种腐蚀性工艺气体，传感器不易被介质侵蚀，适配半导体腐蚀工艺腔体真空监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-长期稳定性 传感膜片抗工艺污染，老化衰减缓慢，长时间连续工况下真空读数稳定，适配半导体腔体长期不间断真空监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-零点漂移小 内置温度补偿设计，长期连续运行基准稳定，减少校准频次，适配半导体腔体长时间真空监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-响应速度快 传感组件反应灵敏，可快速捕捉腔体真空波动，实时反馈压力变化，适配半导体动态真空工艺监测

BROOKS 布鲁克斯-真空测量仪-宽量程测量 单台仪表覆盖粗真空至高真空区间，适配多段真空工况切换，用于半导体腔体真空连续监测