Brooks布鲁克斯-密封压力控制器-控压精准 闭环 PID 控制实现高精度稳压，密封流道泄漏率低，响应速度快，支持多协议通讯，适配半导体真空工艺，动态工况下压力控制稳定。闭环 PID 控制实现高精度稳压，密封流道泄漏率低，响应速度快，支持多协议通讯，适配半导体真空工艺，动态工况下压力控制稳定。

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-模拟输出 具备标准模拟输出，输出信号稳定，适配传统工控采集系统，无需总线模块，方便老旧设备直接替换集成

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-DeviceNet 支持 DeviceNet 现场总线，可靠双向数据交互，布线简洁，便于多台仪表组网，适配传统自动化设备与旧产线系统升级集成

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-Profinet 支持 Profinet 工业以太网，实时双向通讯，组网便捷，诊断信息同步上传，适配半导体、自动化设备西门子系控制系统集成

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-EtherCAT 搭载 EtherCAT 工业总线，高速实时通讯，低延迟，可集群组网，数据传输稳定，适配半导体自动化产线高速控制系统。

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-多协议支 多协议支持，兼容 RS485、EtherCAT 等多种总线，可适配不同设备主控平台，便于新旧产线集成与系统升级改造。