【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-EtherCAT
搭载 EtherCAT 工业总线，高速实时通讯，低延迟，可集群组网，数据传输稳定，适配半导体自动化产线高速控制系统。

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-EtherCAT

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-EtherCAT

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）搭载 EtherCAT 工业实时总线，通讯延迟低、同步性强，支持多仪表集群组网，数据传输稳定可靠，适配半导体自动化产线高速控制系统。

半导体优良工艺对实时性要求严苛，ALD、MOCVD 等工艺需要多台 MFC 同步切换气体，传统总线通讯存在延迟高、同步性差的问题，流量设定与实际反馈不同步，容易造成气体配比偏差，影响薄膜均匀性。EtherCAT 总线版本 MFC，依靠高速实时通讯架构，满足精密工艺同步控制需求。

EtherCAT 采用分布式时钟机制，多台 MFC 之间可实现高精度时间同步，流量设定下发、实际流量回传、阀门状态反馈可在极短周期内完成。总线带宽高，单条链路可串联多台 MFC，简化设备内部布线，减少线缆数量。支持双向读写，上位机可远程下发流量设定，同时读取压力、温度、诊断告警、自检日志等全部过程数据，实时监控仪表运行状态。总线抗干扰能力强，在设备内部电磁复杂环境下不易出现丢包、数据抖动。

仪表保留 MultiFlo™多气体兼容与量程可编程功能，切换不同工艺气体无需拆机重新标定。同时维持布鲁克斯 MFC 各项核心优势：控流精准、响应迅速、重复性优异，可选镜面抛光洁净流道、哈氏合金防腐结构、高温伴热配置，可在腐蚀、高低温、小死体积高纯工况稳定运行。内置诊断、在线自检功能可依托 EtherCAT 总线实时上传数据，支撑预测性运维。

EtherCAT 实时总线大幅提升多仪表协同控制精度，缩短工艺切换周期，简化设备集成布线，降低调试难度。广泛应用于 ALD、MOCVD、CVD、刻蚀等半导体精密制程，同样适用于光伏镀膜、特种气体、气相分析仪器等高实时性流体控制场景。高速同步通讯能力保障气体配比稳定可控，是自动化产线精密气体流量控制的优选方案。