【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-在线自检
支持在线自检，无需停机即可校验流量与阀门状态，快速甄别性能漂移，降低停机时长，适配半导体连续生产产线。

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-在线自检

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-在线自检

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）搭载在线自检功能，无需停机拆离管路，即可完成流量、传感器、阀门状态校验，快速甄别性能漂移与潜在隐患，缩短停机时间，适配半导体不间断连续生产产线。

半导体量产产线对稼动率要求，传统 MFC 性能校验需要停机、隔离管路、拆卸仪表，整套流程耗时较长，会占用宝贵生产时间。长期运行后，传感器零点漂移、阀门密封衰减、压力响应偏差等问题会逐步累积，等到工艺出现异常才发现，极易造成批量产品报废。在线自检功能可在设备不拆管的条件下，周期性完成自我检测。

仪表依托内置传感单元与闭环算法，在工艺间隙或吹扫阶段自动启动自检流程，校验零点、流量测量偏差、阀门启闭响应、泄漏状态等关键指标，并将自检结果、偏差数据记录存储。一旦检测到参数超出阈值，会触发预警，提示运维人员提前介入，实现预测性维护，避免隐患扩大。自检流程可由上位机远程触发，也可设置周期性自动执行。

仪表保留 MultiFlo™多气体兼容与量程可编程能力，自检功能不会改变原有标定参数，切换不同工艺气体后，自检逻辑依旧有效。同时保持控流精准、响应迅速、零点稳定、高重复性、内置诊断、超低泄漏等核心优势。支持模拟、RS485、EtherCAT 等通讯协议，自检报告可实时上传至设备主控系统，便于追溯与数据分析。产品线覆盖微量 sccm 到大流量 slpm，可搭配高温、哈氏合金防腐、镜面抛光洁净流道等选型。

在线自检减少仪表拆装频次，大幅降低停机校验时长，提升产线稼动率。提前发现传感器漂移、阀门老化等潜在故障，减少突发停机与批量报废风险。广泛用于 ALD、MOCVD、CVD、刻蚀等半导体制程，也适用于光伏、特种气体、精密分析仪器等高要求流体控制场景。在线自检能力降低现场维护工作量，保障工艺长期稳定，是连续化精密气体流量控制的优选方案。