【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-多协议支
多协议支持，兼容 RS485、EtherCAT 等多种总线，可适配不同设备主控平台，便于新旧产线集成与系统升级改造。

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-多协议支

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-多协议支

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）具备多协议兼容能力，支持 RS485、EtherCAT 等主流工业总线协议，同时兼容传统模拟信号，适配不同品牌设备主控平台，方便新旧产线集成改造，拥有的系统通用性。

半导体与光伏行业设备迭代快，不同年代、不同厂商的控制系统通讯标准差异较大。普通 MFC 仅支持单一通讯协议，更换仪表时往往需要配套转换模块，硬件改动成本高，调试周期长；老旧产线升级时，还容易出现通讯不匹配、数据丢包等问题，影响工艺稳定性。多协议版本 MFC 从底层通讯模块入手，解决跨平台适配难题。

仪表内置多制式通讯单元，数字总线可双向高速传输设定流量、实际流量、压力、阀门状态、自检记录与故障告警，支持远程参数配置、量程修改与故障复位。同时保留模拟信号接口，数字、模拟两种模式可灵活切换，无需额外转接硬件，既能对接新一代总线型自动化设备，也可直接用于老旧模拟控制系统，大幅降低系统集成门槛。多台 MFC 可组网协同工作，在电磁复杂的工业环境中，数据传输稳定，抗干扰能力优异。

产品搭载 MultiFlo™多气体兼容与量程可编程技术，无需拆机即可更换气体参数。同时延续布鲁克斯 MFC 核心性能：控流精准、响应迅速、零点稳定、重复性优异，可选镜面抛光洁净流道、哈氏合金防腐阀组、高温伴热等配置，可在腐蚀、高低温、宽压差等复杂工况稳定运行。内置诊断、在线自检功能可同步使用，通讯链路持续上传设备运行数据，便于上位机做预测性运维管理。

多协议兼容特性减少产线改造所需配件，缩短整机调试时间，降低备件种类与采购成本。广泛应用于 ALD、MOCVD、刻蚀、真空镀膜等半导体工艺，也适配光伏、特种气体、精密分析仪器等高洁净流体控制场景。灵活的通讯适配能力，让该款 MFC 成为新旧自动化产线通用的精密气体流量控制优选方案