【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-数字通讯
搭载数字通讯，支持 RS485/EtherCAT 等协议，高速传输流量、诊断数据，通讯稳定抗干扰，适配半导体自动化设备集中管控

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-数字通讯

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-数字通讯

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）搭载数字通讯，支持 RS485、EtherCAT 等主流工业协议，高速稳定传输流量、状态及诊断数据，抗干扰能力强，适配半导体自动化设备集中管控。

半导体优良设备自动化程度持续提升，传统模拟信号传输易受线缆电磁干扰，信号存在衰减、漂移问题，仅能单向传输流量数值，无法回传仪表内部状态，不利于整机组态与远程监控。数字通讯 MFC 以数字化信号交互，解决模拟信号短板，实现上位机对 MFC 的双向读写与集中管理。

仪表可双向通讯，上位机能够下发流量设定值，同时实时读取实际流量、压力、温度、阀门状态、自检日志、故障告警等多维度信息。数字化信号抗电磁干扰能力强，长距离传输不易失真，数据精度不受线缆压降影响。支持 RS485、EtherCAT 等多种工业总线，可直接接入半导体设备主控系统，多台 MFC 组网串联，简化布线。

仪表保留 MultiFlo™多气体兼容、量程可编程能力，在高温、腐蚀、压力波动工况下数字链路稳定可靠。同时维持控流精准、响应迅速、零点稳定、高重复性、内置诊断、预测运维等核心优势。支持数字与模拟双接口可选，方便新旧设备改造升级。产品线覆盖微量 sccm 到大流量 slpm，可搭配镜面抛光、哈氏合金防腐、高温伴热等选型。

数字通讯简化设备布线，提升数据采集精度，实现多 MFC 集群协同控制，支持远程参数配置与状态监控，大幅降低调试难度。广泛应用于 ALD、MOCVD、CVD、刻蚀等半导体制程，也适配光伏、特种气体、精密分析仪器自动化流体场景。双向数字化交互助力产线智能化管理，保障工艺参数可追溯，是自动化精密气体流量控制的优选方案。