【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-量程宽广
量程宽广，覆盖微量 sccm 到大流量 slpm 规格，支持多气体切换，适配多种工艺气体，满足半导体不同制程的气体流量调控需求

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-量程宽广

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-量程宽广

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）具备超宽量程覆盖能力，全面涵盖微量 sccm 精密控流到大流量 slpm 大功率输送规格，能够一站式满足半导体各类精密与大流量工艺需求，选型灵活、通用性，适配多场景流体控制制程。

在半导体全流程生产中，不同工艺对气体流量需求差异极大。ALD、精密镀膜等微观制程需要极低微量流量，对控流精细度要求；而清洗、外延、尾气处理等工序则需要大流量快速供气。普通 MFC 量程单一，微量机型无法承载大流量工况，大流量设备无法实现精细微调，导致设备需要多型号混搭、配件繁多、改机麻烦、兼容性差。Brooks 凭借宽广且连续的量程体系，解决量程断层、型号冗余问题。

该系列 MFC 拥有完整梯度化产品线，从sccm 级微量精密控制，可精准管控微量工艺气体配比，保障纳米级薄膜沉积精度；到标准中流量常规刻蚀、CVD 工艺；再到slpm 级大流量吹扫、载气、前驱体输送，全区间覆盖。全量程区间均保持高精度、高重复性与快速响应特性，不会因量程大小改变核心控制性能。

设备搭载经典 MultiFlo 智能多气体技术，同一台 MFC 可切换多种气体、切换多档有效量程，无需拆机更改硬件或重新标定，大幅提升设备复用性。无论是微量掺杂的精细制程，还是大流量吹扫的批量制程，均可稳定输出标准流量，有效降低设备型号库存、减少备件种类，简化设备集成设计。

同时产品支持金属密封、高温耐腐、低泄漏等多种选配版本，宽量程搭配强适配性，可应对高纯气体、腐蚀性气体、可凝介质等复杂工况。兼容多种通讯协议，适配自动化产线集成。

凭借量程广、精度稳、通用性强的综合优势，Brooks 布鲁克斯 MFC 大幅提升设备设计兼容性，减少选型复杂度，覆盖半导体、氢能、光伏、精密仪器等绝大多数流体控制场景，是行业通用性的全能型质量流量控制器。