【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-量程可编程
支持量程可编程，依托 MultiFlo 功能，软件即可修改满量程，无需更换硬件，适配工艺配方迭代，简化设备平台化设计

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-量程可编程

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-量程可编程

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）支持量程可编程功能，依托 MultiFlo™技术，可通过软件在线修改满量程参数，无需更换硬件、无需拆机返厂标定，灵活应对工艺配方迭代，极大简化半导体设备平台化设计。

在半导体设备开发与工艺迭代过程中，常常需要调整气体流量上限。传统 MFC 出厂量程固定，一旦工艺方案变更，想要更改满量程，只能更换整机或者拆下发回厂家重新标定，不仅拉长设备调试周期，还会增加备件库存与硬件成本，设备平台化设计受到很大限制。而 Brooks MFC 量程可编程特性，直接解决量程固定带来的痛点。

该系列 MFC 内置丰富的气体与量程参数数据库，工程师通过上位软件或设备控制系统，就能直接选择目标气体并设定全新满量程。修改完成后仪表自动加载对应的流量补偿系数，快速完成参数更新，无需拆卸管路，不破坏气路密封性。在量程改写之后，仪表依旧保持优秀的控流精度、流量重复性与零点稳定性，不会因为量程变更造成性能衰减。

流路可选电解抛光金属密封结构，流道洁净度高，可适配高纯气体、腐蚀性工艺介质，防止污染物附着传感器，保障多次修改量程后仪表长期稳定运行。支持模拟、RS485、EtherCAT 等多种通讯协议，方便接入自动化设备控制系统。阀门采用低泄漏设计，气体启停时串气风险低，保障工艺配比稳定。产品线覆盖从微量 sccm 到大流量 slpm，全量程型号均支持量程可编程能力。

量程可编程的特性，让同一台 MFC 硬件可以适配多种工艺配方，减少设备厂商的物料型号，降低备件备货压力。当产线进行工艺升级、产品迭代时，仅需软件修改参数即可完成量程调整，大幅缩短调试时间，降低硬件更换带来的停机损失。广泛应用于半导体刻蚀、CVD、ALD、MOCVD，也适配氢能、分析仪器流体控制场景。Brooks 布鲁克斯 MFC 凭借量程可编程的优势，提升设备设计柔性，降低研发与运维成本，是平台化精密气体控制的理想选择。