【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-耐蚀抗腐
耐蚀抗腐，特种合金流路，适配卤素等腐蚀性工艺气体，可选全金属密封，析出低，稳定可靠，用于半导体刻蚀、MOCVD 严苛制程。

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-耐蚀抗腐

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-耐蚀抗腐

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）具备优秀的耐蚀抗腐性能，采用特种合金流路材质，可选全金属密封结构，可长期耐受卤素等强腐蚀性工艺气体，降低介质侵蚀带来的泄漏与漂移问题，适配半导体各类严苛薄膜与刻蚀制程。

半导体刻蚀、MOCVD 等工艺大量使用含卤素、酸性等强腐蚀性气体。普通 MFC 内部流道与密封件容易被腐蚀，长时间运行后出现内壁点蚀、密封老化，产生颗粒污染，引发流量漂移、阀门泄漏，造成晶圆缺陷，仪表也需要频繁更换，拉高产线运维成本。针对这类恶劣工况，Brooks 在材料与结构层面做了防腐专项设计。

流路选用高耐蚀特种合金，抗卤素、酸性介质侵蚀能力强，配合电解抛光处理，内壁光滑，减少气体吸附与反应副产物沉积，延缓腐蚀进程。全金属密封版本不含橡胶高分子密封件，避免腐蚀介质溶胀、分解有机密封件，杜绝有机物析出污染气路。阀座与传感元件均选用适配腐蚀气体的材质，提升整机耐化学侵蚀能力。

产品保留 MultiFlo™多气体功能与量程可编程特性，切换不同腐蚀气体时，流量精度、零点稳定性、重复性不受明显影响。内置高性能闭环控制算法，控流精准、响应快，即便在腐蚀介质长期冲刷下，依然维持稳定的流量输出。支持模拟、RS485、EtherCAT 等多种通讯协议，便于接入自动化设备。阀门关断性能优异，低泄漏设计，防止腐蚀气体持续渗漏损坏设备。

产品线覆盖微量 sccm 到大流量 slpm，防腐版本规格齐全，部分型号支持高温选型，适配可凝前驱体这类复杂介质场景。除半导体行业外，同样适用于特种化工、氢能、分析仪器等腐蚀性流体测控场景。

的耐蚀抗腐能力，大幅延长仪表使用寿命，减少因腐蚀带来的故障停机与备件更换，降低颗粒污染风险，稳定工艺窗口，提升晶圆良率，是强腐蚀工艺气体流量控制的可靠方案。