【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-断阀可靠
断阀可靠，阀芯结构稳固，多次启停密封性能稳定，抗压力冲击，关断动作稳定，适用于半导体 ALD、脉冲供气精密工艺

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-断阀可靠

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-断阀可靠

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）断阀可靠，阀芯与阀座经过精密配对加工，数万次启停循环依旧保持稳定密封，可抵御管路压力冲击，关断动作精准稳定，适配半导体 ALD、脉冲供气等高时序要求的精密工艺。

在 ALD、刻蚀等半导体制程中，气体需要频繁启停切换，阀门作为核心执行部件，可靠性直接决定工艺成败。普通 MFC 阀门反复开关后，密封面容易磨损，或是被管路内颗粒卡滞，出现关断不严、动作延迟、卡阀等故障，造成气体串气、流量漂移，引发薄膜厚度不均、刻蚀缺陷，频繁停机检修会严重拖累产线产能。Brooks MFC 针对阀门做了结构优化，提升长期循环工况下的断阀可靠性。

该产品采用精密研磨的阀芯阀座组合，配合优化的驱动机构，开关动作平稳有力，抗冲击能力强。流路可选不锈钢或哈氏合金材质，搭配电解抛光工艺，内壁光滑，降低颗粒附着，减少固体杂质卡在密封面导致的密封失效。全金属密封版本无橡胶件老化溶胀问题，在腐蚀性、高温工艺环境下，阀门密封性能不会快速衰减。

设备保留 MultiFlo™多气体与量程可编程能力，切换不同工艺气体后，阀门启闭性能保持稳定。同时维持控流精准、响应快速、零点稳定、高重复度等核心指标，阀门可靠性能不会牺牲流量控制精度。支持模拟、RS485、EtherCAT 等多种通讯协议，可接入自动化设备主控系统，实时反馈阀门状态。产品线覆盖微量 sccm 到大流量 slpm，全量程型号均具备可靠的断阀能力。

稳定可靠的断阀性能，大幅降低阀门卡滞、泄漏故障概率，减少设备停机维修次数，降低备件更换成本，保障脉冲供气工艺时序稳定。广泛应用于 ALD、CVD、刻蚀、MOCVD 等半导体领域，也适用于特种气体、氢能、精密分析仪器等流体控制场景。凭借长寿命、高可靠的阀门结构，Brooks 布鲁克斯 MFC 有效降低工艺波动，提升产线连续运行稳定性，是高频启停工艺的优选流量控制器。