【简介】Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-压力免疫
具备压力免疫特性，内置压力补偿算法，抵御进出口压力波动干扰，流量输出稳定，保障气体配比，适配半导体复杂管路工况

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-压力免疫

Brooks布鲁克斯-质量流量控制器-压力免疫

Brooks 布鲁克斯质量流量控制器（MFC）拥有优秀的压力免疫特性，搭载智能压力动态补偿算法，能够有效抵御进出口压力波动带来的干扰，压力变化时流量输出保持稳定，保障工艺气体配比一致性，适配半导体复杂管路工况。

半导体产线管路工况复杂，载气切换、腔体抽气、阀门开闭都会引发管路压力突变。普通 MFC 抗压力扰动能力弱，一旦上下游压力发生波动，流量就会出现偏移，造成反应气体配比失衡，直接影响薄膜沉积厚度、刻蚀形貌，产生晶圆不良。压力波动问题在多支路并联、脉冲供气设备上尤为突出，会导致工艺窗口收窄，需要持续调试参数。Brooks MFC 通过压力补偿技术，降低压力变化对流量的影响。

仪表内置压力传感单元，可实时采集管路压力数据，通过内置算法动态修正流量计算系数，抵消压力波动带来的测量偏差。即便上游供气压力震荡、下游腔体压力快速变化，仪表依旧维持稳定的流量输出，不会随压力变化出现明显漂移。流路可选不锈钢或哈氏合金材质，搭配全金属密封结构，抗压力冲击能力强，压力突变时不会发生密封失效。

设备搭载 MultiFlo™多气体与量程可编程功能，在不同工艺气体、不同压力区间下，压力免疫能力均可生效。同时保持控流精准、响应迅速、零点稳定、高重复性等核心性能，压力补偿不会牺牲仪表基础控制指标。支持模拟、RS485、EtherCAT 等多种通讯协议，可接入自动化产线系统，实时监控压力与流量状态。阀芯采用精密密封设计，压力波动条件下依旧维持超低泄漏，防止气体串扰。

产品线覆盖微量 sccm 到大流量 slpm，全量程型号均具备压力补偿能力，适配吹扫、掺杂、沉积、刻蚀等各类工艺。广泛应用于 ALD、CVD、MOCVD、光伏、氢能与精密分析仪器等领域。

的压力免疫能力，降低管路压力波动带来的工艺偏差，减少现场参数调试工作量，稳定工艺窗口，降低产品报废率，提升产线连续运行稳定性。Brooks 布鲁克斯 MFC 可应对复杂多变的管路压力环境，是工况波动较大场景下，精密气体流量控制的可靠方案。